[发明专利]静电吸盘、真空处理装置及供气方法

权利要求书

1.一种静电吸盘，包括：

本体，具有相对的第一表面和第二表面；第一表面被限定出多个冷却区域，其中一冷却区域位于第一表面的中心；

冷却通道，贯穿第一表面和第二表面且分布于各个冷却区域，冷却气体从第二表面进入冷却通道并穿过第一表面；及

隔离部，自第一表面凸出设置，各个冷却区域通过隔离部隔离，冷却气体在各个冷却区域内流动，其中，位于第一表面的中心的冷却区域内的冷却气体的流量大于其他冷却区域内的冷却气体的流量。

2.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，位于第一表面的中心的冷却区域为中心区域，冷却区域还包括围绕中心区域的过渡区域和周边区域，过渡区域位于中心区域与周边区域之间，且中心区域内、过渡区域及周边区域通过隔离部隔离，过渡区域的冷却气体的流量小于中心区域内的冷却气体的流量，且大于周边区域内的冷却气体的流量。

3.如权利要求2所述的静电吸盘，其中，中心区域为圆形，隔离部、过渡区域及周边区域均为环形，中心区域、过渡区域及周边区域同心排布。

4.如权利要求3所述的静电吸盘，其中，分布于过渡区域及周边区域的冷却通道呈环状排布。

5.如权利要求2所述的静电吸盘，其中，过渡区域的面积大于周边区域的面积，过渡区域分布的冷却通道的数量大于周边区域分布的冷却通道的数量。

6.如权利要求2所述的静电吸盘，其中，中心区域分布的冷却通道的密度大于过渡区域和周边区域分布的冷却通道的密度。

7.如权利要求2所述的静电吸盘，其中，过渡区域的数量为多个，多个过渡区域与中心区域同心排布，各个过渡区域通过隔离部隔离。

8.如权利要求7所述的静电吸盘，其中，过渡区域数量为3-6个。

9.如权利要求2所述的静电吸盘，其中，冷却通道包括进气通道和出气通道，冷却气体能够从第二表面经由进气通道穿过第一表面，并从第一表面经由出气通道穿过第二表面。

10.如权利要求9所述的静电吸盘，其中，每一区域内，进气通道和出气通道相对于本体的直径对称分布。

11.如权利要求10所述的静电吸盘，其中，相邻两区域内的进气通道和出气通道的分布相反。

12.如权利要求9所述的静电吸盘，其中，每一区域内，进气通道和出气通道间隔分布。

13.如权利要求2所述的静电吸盘，其中，静电吸盘还包括多个相互隔离的气体流道，其设置于第二表面，并分别与各冷却区域对应，气体流道与所对应的冷却区域的冷却通道连通。

14.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，隔离部的顶面为水平面，且各个隔离部的高度相同。

15.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，隔离部的高度为0.2mm～2mm。

16.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，隔离部由陶瓷制成。

17.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，冷却气体的流量为2sccm～10sccm，各冷却区域的冷却气体的流量各不相同，且由中心至外周依次递减1％～8％。

18.如权利要求1所述的静电吸盘，其中，冷却气体为惰性气体。

19.如权利要求18所述的静电吸盘，其中，惰性气体为氩气、氦气、氙气、氮气、氖气、氪气中的一种或组合。