[发明专利]一种三自由度并联微动平台

权利要求书

1.一种三自由度并联微动平台，包括静平台（1）、动平台（2）、柔性铰链（3）、薄壁驱动器件（4）；其特征在于：所述动平台（2）通过直角型的柔性铰链（3）与静平台（1）连接在一起，所述薄壁驱动器件（4）直接黏贴在柔性铰链（3）上；采用对称分布的柔性铰链（3）和薄壁驱动器件（4）；柔性铰链（3）包括4个，在4个柔性铰链（3）的X轴方向分别安装一个薄壁驱动器件（4-2、4-3、4-6、4-7），在Y轴方向分别安装一个薄壁驱动器件（4-1、4-4、4-5、4-8）；从而使得动平台实现沿X轴方向、Y轴方向的运动以及XY平面内的转动。

2.根据权利要求1所述的三自由度并联微动平台，其特征在于：所述薄壁驱动器件（4）为具有伸缩特性的材料。

3.根据权利要求2所述的三自由度并联微动平台，其特征在于：所述薄壁驱动器件（4）为压电材料、磁致伸缩材料、形状记忆合金。