[发明专利]一种飞机复合材料蒙皮的电磁屏蔽方法

权利要求书

1.一种飞机复合材料蒙皮的电磁屏蔽方法，其特征在于，具体加工步骤如下：

S1:采用真空蒸镀法，以二氧化硅或氧化铝为蒸发材料，氧气为补偿气体，在飞机蒙皮表面镀一层二氧化硅或氧化铝的绝缘层，所述绝缘层的厚度为0.5-1μm；

S2：采用真空镀膜法，在经S1处理后的飞机蒙皮绝缘层上镀一层铬层，所述铬层的厚度为0.1-0.5μm；

S3：采用化学气相沉积法，在30-55℃下，在经S2处理后的铬层上镀一层含氟二氧化硅层，所述含氟二氧化硅层的厚度为0.3-0.8μm；

S4：采用真空镀膜法，在经S3处理后的含氟二氧化硅层上镀一层铜层，所述铜层的厚度为0.2-0.6μm；

S5：采用点胶处理法，在经S4处理后的铜层上形成一屏蔽层，所述屏蔽层的主要成分为环氧树酯，所述屏蔽层的厚度为0.5-1μm；

S6：采用真空镀膜法，在经S5处理后的屏蔽层上镀一层合金防护层，所述合金防护层的厚度为0.2-0.5μm。

2.根据权利要求1所述的一种飞机复合材料蒙皮的电磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述绝缘层的工艺参数为：蒸发电流为5-10mA，氧气流量为200-350sccm，蒸镀时间为30-60min。

3.根据权利要求1所述的一种飞机复合材料蒙皮的电磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述铬层的工艺参数为：铬靶材功率为6-12kw，以氮气为反应气体，氮气的流量为120-180sccm，镀膜时间为8-15min。

4.根据权利要求1所述的一种飞机复合材料蒙皮的电磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述含氟二氧化硅层的工艺参数为：以水和氟铬三乙氧基烷为反应物，水和氟铬三乙氧基烷的比例为1:2-1:4，反应室压力为500-800Pa，沉积时间为40-70min。

5.根据权利要求1所述的一种飞机复合材料蒙皮的电磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述铜层的工艺参数为：铜靶材功率为5-10kw，以氮气为反应气体，氮气的流量为100-160sccm，镀膜时间为10-15min。

6.根据权利要求1所述的一种飞机复合材料蒙皮的电磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述屏蔽层的工艺参数为：胶嘴直径为0.2-0.5mm，点胶步距为1-2mm，点胶直径为5-15mm。

7.根据权利要求1所述的一种飞机复合材料蒙皮的电磁屏蔽方法，其特征在于：形成所述合金防护层的工艺参数为：合金材功率为8-14kw，以氮气为反应气体，氮气的流量为120-170sccm，镀膜时间为7-12min。