[发明专利]手表表盘字钉真空镀膜方法

权利要求书

1.一种手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于,包括以下步骤：

步骤1、做好开机前的准备工作，检查设备、水、气等是否处于正常待机状态；

步骤2、真空机开机，真空机的系统主电上电后，真空机的控制柜电源指示灯亮，按下控制柜门面板上电源按钮，控制系统上电，同时按钮指示灯绿灯亮， 恢复急停按钮为弹起状态；

步骤3、通过控制柜上的触摸屏控制真空机抽真空；

步骤4、真空机本体内真空，温度达到本次生产工艺所预期要求后，调节节流阀，调节质量流量计进气，使真空室中压强满足工作要求，确定真空机接线正确及负载无短路情况下，按照工艺要求进行镀膜。

2.根据权利要求1所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于，所述步骤1包括以下步骤：

a、打开冷却水阀，接通冷却水，保持水路畅通，检查水压是否满足设备工作要求；

b、清理好真空室，将准备好的工件安装在转架的装卡轴上；

c、检查弧靶、磁控靶、样品转架接电是否正确，是否存在短路状态，关闭真空室门，并确定真空室门和真空室密封良好，检查气源是否处于正常工作状态，各气动阀门是否处于关闭状态，充气阀是否处于关闭状态，检查触摸屏各操作按钮是否复位。

3.根据权利要求1所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于，所述步骤3包括以下步骤：

a、启动维持泵，按下控制柜触摸屏上维持泵图标；

b、启动维持阀，按下控制柜触摸屏上的维持阀图标，打开维持阀；

c、启动分子泵：按下触摸屏上分子泵图标，打开分子泵，泵上图标闪烁为加速中，闪烁灯常亮为分子泵全速运转。

4.根据权利要求3所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于，所述步骤3还包括以下步骤：

d、启动机械泵：按下触摸屏上机械泵图标，打开机械泵；

e、启动粗抽阀：等待5-10s，按下触摸屏上粗抽阀图标，打开粗抽阀，进行预抽真空度；

f、启动罗茨泵：真空度达到400-600Pa，按下触摸屏上罗茨泵图标，启动罗茨泵加速粗抽；

g、关闭粗抽阀：真空度达到5-10Pa，按下触摸屏上粗抽阀图标，关闭粗抽阀；

h、启动前置阀：等待5-15s，按下触摸屏前置阀图标，启动前置阀；

i、启动精抽阀：分子泵全速后，按下触摸屏上精抽阀图标，启动精抽阀，精抽真空。

5.根据权利要求4所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于：所述真空机的抽气系统包括两台分子泵、两台机械泵、一台维持泵和一台罗茨泵。

6.根据权利要求1所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于：所述真空机的配电要求三路三相电源380V±6%，50Hz，弧电源总功率大于50KW；电控柜运行功率小于60KW；连接地线要求，配备良好的接地，接地电阻小于2欧姆。

7.根据权利要求2所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于：所述步骤2中冷却水要求，具备自来水或循环冷却水，水温小于20℃，水压0.2 Pa。

8.根据权利要求1所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于：所述步骤4中真空机的供气要求，具备气源或气泵，气压范围0.4MPa-0.8M Pa。

9.根据权利要求1所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于：所述真空机的安装场地要求冷却空气不得含有腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒。

10.根据权利要求1所述的手表表盘字钉真空镀膜方法，其特征在于：所述镀膜方法采用磁控溅射镀膜，磁控溅射过程中存在磁场和电场两个场，溅射过程中工作气体氩气中的电子受电场的作用下加速飞向手表表盘基片，电子在飞向基片的过程中与氩气中的氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子；电子飞向基片，氩离子则在电场的作用下加速飞向靶材并对靶材进行轰击，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子或分子沉积在基片上成膜。