[发明专利]一种功率器件

权利要求书

1.一种功率器件，其特征在于，包括有源区、分压区以及截止环区，所述分压区设置于所述有源区的外围，所述截止环区设置于所述分压区的外围，所述分压区包括至少一个第一导电类型的分压环，所述截止环区设置于所述分压环外围，所述分压环具有至少一个拐角，所述截止环区具有与所述分压环的拐角一一对应的至少一个外拐角，所述截止环区内形成有超结结构，所述超结结构包括第一导电类型的第一注入区以及第二导电类型的第二注入区，所述第一注入区自所述分压环的外围拐角延伸至所述截止环区对应的拐角，所述第二注入区包括第一部分以及第二部分，所述第一部分跟第二部分分别形成于所述第一注入区的两侧并与所述第一注入区连接，所述第一注入区、所述第一部分及所述第二部分的一端共同覆盖所述第一分压环的拐角区域，所述第一注入区、所述第一部分及所述第二部分的另一端延伸至所述截止环区对应的外拐角。

2.根据权利要求1所述的功率器件，其特征在于，所述第一注入区沿平行于所述功率器件上表面方向上的任一剖面面积小于所述第二注入区在同一剖面上的面积之和。

3.根据权利要求1所述的功率器件，其特征在于，每一所述分压环的拐角均为四分之一圆弧，所述第一分压环拐角处的曲率半径在20-30um之间。

4.根据权利要求3所述的功率器件，其特征在于，每一所述截止环区的外拐角均为四分之一圆弧，所述截止环区外拐角处的曲率与所述分压环的拐角曲率相等。

5.根据权利要求1所述的功率器件，其特征在于，所述第一注入区的掺杂浓度在4E15-1E16/cm³之间，所述第二注入区的掺杂浓度在4E15-6E15/cm³之间。

6.根据权利要求5所述的功率器件，其特征在于，所述第一注入区通过两次离子注入形成，且两次注入的离子均为硼离子，其中，第一次注入的浓度为1E15-5E15/cm³之间，第二次注入的浓度为5E15-6E15/cm³之间。

7.根据权利要求5所述的功率器件，其特征在于，所述第二注入区通过一次离子注入形成，注入离子为磷离子，注入浓度为4E15-5E15/cm³之间。

8.根据权利要求1所述的功率器件，其特征在于，所述第一注入区分别与所述第二注入区的第一部分及第二部分相邻的两侧面之间的距离在5-10um之间。

9.根据权利要求1所述的功率器件，其特征在于，所述第一部分远离所述第一注入区的侧面与所述第二部分远离所述第一注入区的侧面垂直。

10.根据权利要求3所述的功率器件，其特征在于，所述第一注入区的结深高于所述第二注入区。