[发明专利]基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法

权利要求书

1.一种基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将一个反射球跟踪球靶(1)置于物理诊断设备(2)以外，将其余反射球跟踪球靶(1)置于物理诊断设备(2)上的预设位置；

S2：利用激光跟踪仪(5)测量并记录各个反射球跟踪球靶(1)的位置关系；

S3：将置于物理诊断设备(2)以外的一个反射球跟踪球靶(1)置于真空靶室(4)中心的预设位置；

S4：利用诊断搭载平台(3)将物理诊断设备(2)送入真空靶室(4)中，利用激光跟踪仪(5)测量各个反射球跟踪球靶(1)的相对位置，并通过诊断搭载平台(3)调整物理诊断设备(2)的位置，使各个反射球跟踪球靶(1)的位置关系与步骤S2中各个反射球跟踪球靶(1)的位置关系一致。

2.根据权利要求1所述的基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于：所述反射球跟踪球靶(1)包括用于真空靶室(4)的靶杆(11)和固定安装在靶杆(11)顶端的反射跟踪球(12)。

3.根据权利要求2所述的基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于：所述反射跟踪球(12)的直径为1mm～5mm，各个反射跟踪球(12)球形度的偏差小于等于10μm，球中心的偏差小于等于5μm。

4.根据权利要求1所述的基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于：在所述物理诊断设备(2)上设置有用于定位反射球跟踪球靶(1)的基准球座，各个反射球跟踪球靶(1)分别安装在对应的基准球座上。

5.根据权利要求1所述的基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于：在所述真空靶室(4)上设置有可开闭的观察窗。

6.根据权利要求5所述的基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于：步骤S4中，所述激光跟踪仪(5)位于真空靶室(4)以外对应观察窗的位置。

7.根据权利要求1所述的基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于：步骤S3中，反射球跟踪球靶(1)安装在真空靶室(4)中的靶架上，利用真空靶室(4)中的定位传感器(6)测量反射球跟踪球靶(1)的位置，并调节靶架使反射球跟踪球靶(1)的靶心位于真空靶室(4)中心的预设位置。

8.根据权利要求7所述的基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于：步骤S3中，反射球跟踪球靶(1)的靶心位于预设位置后，利用激光跟踪仪(5)记录反射球跟踪球靶(1)的位置，完成后反射球跟踪球靶(1)和定位传感器(6)退出真空靶室(4)中心的预设位置；

步骤S4中，使激光跟踪仪(5)测得的物理诊断设备(2)上的各个反射球跟踪球靶(1)与步骤S3中记录的反射球跟踪球靶(1)的位置关系与步骤S2中各个反射球跟踪球靶(1)的位置关系一致。

9.根据权利要求1所述的基于反射球跟踪球靶的物理诊断设备瞄准方法，其特征在于：所述诊断搭载平台(3)为三维调节平台。