[发明专利]一种p型背接触太阳电池及其制备方法在审
| 申请号: | 201810760073.9 | 申请日: | 2018-07-11 |
| 公开(公告)号: | CN108666386A | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
| 发明(设计)人: | 李华;鲁伟明;李中兰;靳玉鹏 | 申请(专利权)人: | 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/068 | 分类号: | H01L31/068;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 张弘 |
| 地址: | 225300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 细栅线 正极 负极 膜层 电极 背面钝化膜 负极连接 正极连接 本征 钝化 电池电极 电极连接 背接触 隧穿层 导出 基底 制备 穿过 电池性能 减反射膜 漏电流 隔离 表现 | ||
一种p型背接触太阳电池及其制备方法,自上而下依次包括:正面钝化及减反射膜、p型硅基底、钝化隧穿层、n型掺杂膜层、背面钝化膜和电池电极;电池电极包括正极和负极,正极包括正极细栅线和正极连接电极,所述负极包括负极细栅线和负极连接电极;正极细栅线置于本征膜层范围内,且穿过背面钝化膜、本征膜层及钝化隧穿层后与p型硅基底形成接触;负极细栅线穿过背面钝化膜与n型掺杂膜层形成接触;正极细栅线与正极连接电极连接,并通过正极连接电极导出电流,负极细栅线与负极连接电极连接,并通过负极连接电极导出电流。使用了本征膜层进行了隔离,在空间的横向和纵向方向上都没有接触,大大较少了漏电流的产生,提高了可靠性和电池性能表现。
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,特别涉及一种p型背接触太阳电池及其制备方法。
背景技术
目前,随着化石能源的逐渐耗尽,太阳电池作为新的能源替代方案,使用越来越广泛。太阳电池是将太阳的光能转换为电能的装置。太阳电池利用光生伏特原理产生载流子,然后使用电极将载流子引出,从而利于将电能有效利用。
背接触电池,即back contact电池,其中p型背接触太阳电池又称为IBC电池。IBC全称为Interdigitated back contact,指状交叉背接触。IBC电池最大的特点是发射极和金属接触都处于电池的背面,正面没有金属电极遮挡的影响,因此具有更高的短路电流Jsc,同时背面可以容许较宽的金属栅线来降低串联电阻Rs从而提高填充因子FF;并且这种正面无遮挡的电池不仅转换效率高,而且看上去更美观,同时,全背电极的组件更易于装配。IBC电池是目前实现高效晶体硅电池的技术方向之一。
目前使用的背接触太阳电池通常使用n型片作为基底材料,并且在背面通常使用银浆,因此在制备IBC电池时,需要对发射极和背面场的区域均进行较高浓度的掺杂,才能使得在后续的电极制备工艺过程中较好的形成电极接触,成本较高。并且由于需要进行至少两次的不同掺杂类型的掺杂工艺过程,工艺流程较长,尤其是在硅片在进行p型掺杂时,需要更高的温度和时间,额外带来边缘pn结难以去除,增加工艺的复杂性,延长了工艺流程。
发明内容
针对以上问题,本发明提供了一种p型背接触太阳电池及其制备方法,可以较好的解决上述问题。
为实现上述目的,本发明的技术解决方案是:
一种p型背接触太阳电池,自上而下依次包括:正面钝化及减反射膜、p型硅基底、钝化隧穿层、间隔排列的第一膜层区域和第二膜层区域、背面钝化膜和电池电极;
所述第一膜层区域包括:钝化隧穿层上远离p型硅基底一侧的n型掺杂膜层;
所述第二膜层区域未进行额外掺杂,第二膜层区域包括:钝化隧穿层上远离p型硅基底一侧的本征膜层;
所述的电池电极包括正极和负极,所述正极包括正极细栅线和正极连接电极,所述负极包括负极细栅线和负极连接电极;所述正极细栅线置于第二膜层区域范围内,且穿过背面钝化膜、第二膜层区域及钝化隧穿层后与p型硅基底形成接触;所述负极细栅线置于第一膜层区域范围内,并穿过背面钝化膜与第一膜层区域形成接触;所述正极细栅线与正极连接电极连接,并通过正极连接电极导出电流,所述负极细栅线与负极连接电极连接,并通过负极连接电极导出电流。
所述第一膜层区域由多晶硅、非晶硅、微晶硅中的一种或多种组成,并掺杂有V族元素;所述第二膜层区域由多晶硅、非晶硅、微晶硅中的一种或多种组成。
所述钝化隧穿层为氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化铝、碳化硅及非晶硅中的一种。
所述第一膜层区域的宽度为0.08~3mm,所述第二膜层区域的宽度为0.05~1mm。
所述正面钝化及减反射膜,采用氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化铝、碳化硅、非晶硅中的一种或多种组成;所述背面的钝化膜,采用氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化铝、碳化硅、非晶硅中的一种或多种组成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





