[发明专利]彩膜基板的制作方法有效
申请号: | 201810748566.0 | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN108919547B | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 易天华 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G03F7/004 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩膜基板 制作方法 | ||
本发明提供一种彩膜基板的制作方法,其中所述方法包括提供一基板;在所述基板上,形成光阻层,所述光阻层包括预设着色材料,所述光阻层包括第一区域、第二区域以及第三区域;对所述第一区域、所述第二区域以及所述第三区域中的所述预设着色材料,进行多次曝光操作,使所述第一区域透射第一预设光、所述第二区域透射第二预设光、所述第三区域透射第三预设光。该方案通过在光阻层添加预设着色材料后,经多次曝光操作,即可使不同区域透射不同颜色的光,提高了彩膜基板的制作效率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种彩膜基板的制作方法。
背景技术
液晶显示装置(liquid crystal display,LCD)具有画质好、体积小、重量轻、低驱动电压、低功耗、无辐射和制造成本相对较低的优点,在平板显示领域占主导地位。
其中,彩膜基板是液晶显示装置的重要组成部分。如图1所示的彩膜基板的制作过程,需要使用三种不同光阻,经三次涂布、三次曝光以及三次显影,才能制成具有红色、蓝色和绿色三种不同颜色的彩膜基板。
在此过程中,仅有不到三分之一的光阻得到有效利用,造成光阻的利用率低。同时,重复的加工工序,需要在不同机台之间来回搬送,增加了时间成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种彩膜基板的制作方法,提高了彩膜基板制作的效率。
本发明实施例提供了一种彩膜基板的制作方法,包括:
提供一基板;
在所述基板上,形成光阻层,所述光阻层包括预设着色材料,所述光阻层包括第一区域、第二区域以及第三区域;
对所述第一区域、所述第二区域以及所述第三区域中的所述预设着色材料,进行多次曝光操作,使所述第一区域透射第一预设光、所述第二区域透射第二预设光、所述第三区域透射第三预设光。
在一些实施例中,所述预设着色材料包括第一官能团、第二官能团以及第三官能团,所述第一官能团用于吸收第一预设光,所述第二官能团用于吸收第二预设光,所述第三官能团用于吸收第三预设光;
所述对所述第一区域、所述第二区域以及所述第三区域中的所述预设着色材料,进行多次曝光操作,使所述第一区域透射第一预设光,所述第二区域透射第二预设光,所述第三区域透射第三预设光步骤包括:
对所述第一区域进行曝光操作,分解位于所述第一区域的所述第一官能团;
对所述第二区域进行曝光操作,分解位于所述第二区域的所述第二官能团;
对所述第三区域进行曝光操作,分解位于所述第三区域的所述第三官能团。
在一些实施例中,所述第一预设光为红光,所述第一官能团包括NH2和氧双键。
在一些实施例中,所述第二预设光为绿光,所述对所述第二区域进行曝光操作,分解位于所述第二区域的所述第二官能团步骤包括:
若所述第二区域包括则分解所述第二区域中的
在一些实施例中,所述第三预设光为蓝光,所述第三官能团包括
在一些实施例中,所述预设着色材料包括第一添加剂材料、第二添加剂材料、第三添加剂材料,以及第四添加剂材料;
所述对所述第一区域、所述第二区域以及所述第三区域中的所述预设着色材料,进行多次曝光操作,使所述第一区域透射第一预设光,所述第二区域透射第二预设光,所述第三区域透射第三预设光步骤包括:
对所述第一区域和所述第二区域进行曝光操作,使位于所述第一区域和所述第二区域的所述第三添加剂材料和所述第四添加剂材料生成第一目标官能团,所述第一目标官能团吸收第三预设光;
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