[发明专利]包含分支存储器裸芯模块的硅通孔半导体装置在审
申请号: | 201810688413.1 | 申请日: | 2018-06-28 |
公开(公告)号: | CN110729294A | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 杨旭一;张聪;邱进添 | 申请(专利权)人: | 西部数据技术公司 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115;H01L21/768 |
代理公司: | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体裸芯 集成存储器 电连接体 堆叠 半导体装置 存储器阵列 闪速存储器 相邻半导体 机械连接 电互连 硅通孔 裸芯 图案 | ||
1.一种集成存储器模块,包括:
多个第一半导体裸芯,所述多个第一半导体裸芯包括第一和第二相反的表面,所述多个第一半导体裸芯中的每个第一半导体裸芯包括:
第一集成电路,
所述第一表面上的第一组接合垫,
所述第二表面上的第二组接合垫,以及
硅通孔的第一集合,其将所述第一组接合垫和第二组接合垫电耦接;
第二半导体裸芯,包括:
第三和第四相反的表面,
第二集成电路,
所述第三表面上的第三组接合垫,以及
硅通孔的第二集合,其电耦接到所述第三组接合垫;
其中所述多个第一半导体裸芯和所述第二半导体裸芯由所述第一组、第二组和第三组接合垫耦接在一起;并且
其中所述多个第一半导体裸芯和所述第二半导体裸芯一起配置为集成闪速存储器。
2.根据权利要求1所述的集成存储器模块,其中所述多个第一半导体裸芯中的每一个中的所述第一集成电路包括多个存储器单元。
3.根据权利要求2所述的集成存储器模块,其中所述第二集成电路包括控制电路,以控制对所述多个存储器单元的存取。
4.根据权利要求3所述的集成存储器模块,其中所述控制电路包括互补金属氧化物半导体集成电路。
5.根据权利要求1所述的集成存储器模块,其中所述多个第一半导体裸芯具有彼此相同的长度和宽度,并具有第一和第二接合垫的相同的图案。
6.根据权利要求5所述的集成存储器模块,其中所述第二半导体裸芯具有与所述多个第一半导体裸芯相同的长度和宽度,并且具有与所述第一和第二接合垫的图案相同的第三和第四接合垫的图案。
7.一种半导体装置,包括:
上下叠置的多个第一半导体裸芯,所述多个第一半导体裸芯包括第一和第二相反的表面,所述多个第一半导体裸芯中的每个第一半导体裸芯包括:
第一集成电路,
所述第一表面上的第一组接合垫,
所述第二表面上的第二组接合垫,所述多个第一半导体裸芯中的半导体裸芯的所述第一组接合垫接合到所述堆叠体中的所述多个第一半导体裸芯的下一相邻裸芯的第二组接合垫,以及
硅通孔的第一集合,其将所述第一组和第二组接合垫电耦接;
第二半导体裸芯,所述多个第一半导体裸芯堆叠在所述第二半导体裸芯上,所述第二半导体裸芯包括:
第三和第四相反的表面,
第二集成电路,
所述第三表面上的第三组接合垫,所述第三组接合垫接合到所述堆叠体中的所述多个第一半导体裸芯的最底部裸芯的所述第二组接合垫,
以及
电耦接到所述第三组接合垫的硅通孔的第二集合;
其中所述多个第一半导体裸芯和所述第二半导体裸芯一起配置为集成闪速存储器。
8.根据权利要求7所述的半导体装置,还包括所述第二半导体裸芯的第四表面上的第四组接合垫。
9.根据权利要求8所述的半导体装置,还包括重分布图案,以将所述硅通孔的第二集合电耦接到所述第二半导体裸芯的第四表面上的所述第四组接合垫。
10.根据权利要求8所述的半导体装置,还包括固定到所述第四组接合垫的焊料球。
11.根据权利要求7所述的半导体装置,其中所述多个第一半导体裸芯中的每一个中的所述第一集成电路包括多个存储器单元。
12.根据权利要求11所述的半导体装置,其中所述第二集成电路包括控制电路,以控制对所述多个存储器单元的存取。
13.根据权利要求12所述的半导体装置,其中所述控制电路包括互补金属氧化物半导体集成电路。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的