[发明专利]一种保护探头的扫描电镜试样台

说明书

本发明公开一种保护探头的扫描电镜试样台，包括试样台缓冲装置和试样台底座，试样台底座连接电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座上；试样台缓冲装置包括法兰、试样爪基座、试样爪、弹簧、套筒、试样爪紧固件，当由于人工操作失误使得试样与探头发生碰撞，试样台缓冲装置会起到缓冲的作用，弹簧会吸收在发生碰撞时的大部分碰撞能量，转换为弹簧的弹性势能，从而避免了出现刚性碰撞而导致探头直接损坏。

技术领域

本发明涉及一种保护探头的扫描电镜试样台，属于精密仪器领域。

背景技术

扫描电镜即扫描电子显微镜是一种电子光学显像仪器，采用极细窄的电子束来扫描试样，通过电子束与试样相互作用，产生各种信号，这些信号被相应的检测器接受，经放大器放大后送到显像管成像，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大的特点，现已在材料、冶金、生物等领域有了广泛的应用。

试样台是扫描电镜中的一个重要组件，用来承载试样，当观察试样时，试样台运动将试样送到安全检测位置，但是对于要求高倍数拍摄，为了提高扫描图片的质量，需要试样与探头无限接近，试样的观测位置会超出安全检测位置，很容易由于人工失误导致探头与试样直接接触，从而使探头出现损坏。

发明内容

本发明的目的是克服已有技术的不足，提供一种保护探头扫描电镜试样台，旨在解决扫描试样需要高倍拍摄时，在试样和探头无限接近过程中探头与试样发生刚性碰撞，从而损坏探头的问题。

一种保护探头的扫描电镜试样台，包括试样台缓冲装置和试样台底座1，试样台底座1连接扫描电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座1上，可以根据试样的数目选择试样台缓冲装置的数量；

试样台缓冲装置包括法兰2、试样爪基座3、试样爪、弹簧5、套筒6、试样爪紧固件8，法兰2设置在试样台底座1上，套筒6设置在法兰2上，弹簧5设置在套筒6外部，弹簧5的底部设置在法兰2上，试样爪基座3的侧视图为T字型结构，试样爪基座3与弹簧5的顶部接触即试样爪基座3的T字型结构的上部位于弹簧5顶部并相互接触，T字型结构的底部悬空设置在套筒6内，T字型结构的顶部开有环形凹槽，试样爪设置在T字型结构的环形凹槽内，试样爪紧固件8设置在试样爪基座3上并将试样爪固定。

所述试样爪基座3的T字型结构的顶部中间还开有螺纹孔，试样爪紧固件8上设有外螺纹，外螺纹与试样爪基座3的T字型结构的顶部中间螺纹孔内的螺纹相配合并将试样爪固定。

所述保护探头的扫描电镜试样台还包括驱动电机、控制器、压力传感器7，压力传感器7位于试样爪基座3与弹簧5之间，并与试样爪基座3的上部和弹簧5的顶部接触，驱动电机与扫描电镜的载物转台连接，压力传感器7和驱动电机分别与控制器连接。

所述试样爪由三个以上的夹持片4构成，夹持片4包括弹性片、矩形块，弹性片为7字型结构，弹性片的7字型结构的底部设置在矩形块上，矩形块活动设置在试样爪基座3的T字型结构顶部的环形凹槽内，弹性片在回复力的作用下，可以实现对不同轮廓试样的夹持。

所述法兰2通过螺栓设置在试样台底座1上。

所述控制器为市购常规控制器，型号为Arduino UNO R3型控制器等，能够实现采集压力传感器7数据并控制驱动电机运行即可。