[发明专利]一种保护探头的扫描电镜试样台有效
| 申请号： | 201810616807.6 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108896595B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 刘洪喜;张璐璐;张晓伟;石海;郝轩弘 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 保护 探头 扫描电镜 试样 | ||
1.一种保护探头的扫描电镜试样台，其特征在于，包括试样台缓冲装置和试样台底座（1），试样台底座（1）连接扫描电镜的载物转台，一个以上的试样台缓冲装置设置在试样台底座（1）上，试样台缓冲装置包括法兰（2）、试样爪基座（3）、试样爪、弹簧（5）、套筒（6）、试样爪紧固件（8），法兰（2）设置在试样台底座（1）上，套筒（6）设置在法兰（2）上，弹簧（5）设置在套筒（6）外部，弹簧（5）的底部设置在法兰（2）上，试样爪基座（3）的侧视图为T字型结构，T字型结构的上部位于弹簧（5）顶部，T字型结构的底部悬空设置在套筒（6）内， T字型结构的顶部开有环形凹槽，试样爪设置在环形凹槽内，试样爪紧固件（8）设置在试样爪基座（3）上并将试样爪固定；
试样台还包括驱动电机、控制器、压力传感器（7），压力传感器（7）位于试样爪基座（3）与弹簧（5）之间，并与试样爪基座（3）底部和弹簧（5）的顶部接触，驱动电机与扫描电镜的载物转台连接，压力传感器（7）和驱动电机分别与控制器连接。
2.根据权利要求1所述保护探头的扫描电镜试样台，其特征在于，所述试样爪基座（3）的T字型结构的顶部中间还开有螺纹孔，试样爪紧固件（8）上设有外螺纹，外螺纹与试样爪基座（3）的T字型结构的顶部中间螺纹孔内的螺纹相配合并将试样爪固定。
3.根据权利要求1所述保护探头的扫描电镜试样台，其特征在于，所述试样爪由三个以上的夹持片（4）构成，夹持片（4）包括弹性片、矩形块，弹性片为7字型结构，弹性片7字型结构的底部设置在矩形块上，矩形块活动设置在试样爪基座（3）的T字型结构顶部的环形凹槽内。
4.根据权利要求1所述保护探头的扫描电镜试样台，其特征在于，所述法兰（2）通过螺栓设置在试样台底座（1）上。
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