[发明专利]补液方法

权利要求书

1.一种补液方法，其特征在于，补液设备包括多个备用容器；

所述补液方法包括以下步骤：

S1，检测气体容器的液位，并判断所述气体容器的液位是否低于预设的第一液位；若是，则进行步骤S2；

S2，按预设顺序逐个检测所述备用容器的液位，并在检测每个所述备用容器的液位之后判断所检测的备用容器的液位是否低于预设的第二液位；若否，则使所检测的备用容器在线，并对所述气体容器进行补液；若是，则使所检测的备用容器的下一个备用容器在线，并对所述气体容器进行补液；

所述步骤S1具体包括以下步骤：

S11，在工艺开始时检测工艺腔室的当前状态，并判断所述工艺腔室的当前状态是在线状态还是离线状态；若所述工艺腔室的当前状态是在线状态，则进行自动工艺，并进行步骤S12；若所述工艺腔室的当前状态是离线状态，则进行手动工艺，并进行步骤S13；

S12，检测所述气体容器的液位，并判断所述气体容器的液位是否低于所述第一液位；若是，则将所述工艺腔室在完成当前工艺之后下线，并进行所述步骤S2；

S13，检测所述气体容器的液位，并判断所述气体容器的液位是否低于所述第一液位；若是，则进行步骤14；

S14，判断所述气体容器的液位是否低于预设的第三液位，所述第三液位低于所述第一液位；若是，则将所述工艺腔室在完成当前工艺之后下线，并进行所述步骤S2。

2.根据权利要求1所述的补液方法，其特征在于，所述步骤S13具体包括以下步骤：

S131，检测所述气体容器的液位，并判断所述气体容器的液位是否低于所述第一液位；若是，则进行步骤S132和所述步骤S14；

S132，进行缺液提示，并给出是否继续工艺的选项供用户选择。

3.根据权利要求1-2任意一项所述的补液方法，其特征在于，所述补液设备还包括进气管路，所述进气管路的进气口与气源连接，所述进气管路的出气口为多个，且与多个所述备用容器的进气口一一对应地连接；

所述步骤S2具体包括以下步骤：

S21，按预设顺序逐个检测所述备用容器的液位，并在检测每个所述备用容器的液位之后判断所检测的备用容器的液位是否低于预设的第二液位；若否，则使所检测的该备用容器在线；若是，则使所检测的备用容器的下一个所述备用容器在线；

S22，检测所述进气管路的进气口的压力，并判断所述进气口的压力是否高于预设压力；若是，则进行步骤S23；若否，则进行步骤S24；

S23，经由所述进气管路的进气口对所述进气管路进行抽气，然后进行所述步骤S24；

S24，检测在线的所述备用容器与所述气体容器之间的管路中的压力，并判断该压力是否超出预设阈值，若是，则进行步骤S25；若否，则进行步骤S26；

S25，根据判断结果对在线的所述备用容器进行抽气或者充气，然后进行所述步骤S26；

S26，使用在线的所述备用容器对所述气体容器进行补液。

4.根据权利要求3所述的补液方法，其特征在于，所述步骤S2还包括以下步骤：

S27，检测所述气体容器的液位，并判断所述气体容器的液位是否上升至预设的第四液位；若是，则停止在线的所述备用容器的补液工作；若否，则进行步骤S28；

S28，检测在线的所述备用容器的液位，并判断在线的所述备用容器的液位是否低于所述第二液位，若否，则继续进行所述步骤S26；若是，则进行缺液提示，并切换下一个所述备用容器在线，继续进行所述步骤S26。

5.根据权利要求1所述的补液方法，其特征在于，所述补液方法还包括以下步骤：

S3，使连接在所述备用容器与所述气体容器之间的所有管路中的液体回流至在线的所述备用容器中。