[发明专利]一种掩膜板搬运装置及其搬运方法

说明书

本发明提供一种掩膜板搬运装置及其搬运方法，包括搬运小车本体、位于小车本体内部的转置装置以及位于转置装置上方的掩膜板拾取检测装置；所述转置装置用于将掩膜板包装盒在竖直状态和水平状态之间转换，所述转置装置包括平台部、与平台部垂直连接且用于固定掩膜板包装盒的对接部以及带动平台部转动的驱动轴；所述掩膜板拾取检测装置包括与搬运小车本体固定连接的升降轴、在升降轴上垂直移动的竖直升降杆、固定在竖直升降杆上的水平位移杆以及位于水平位移杆上的掩膜板拾取结构。本发明通过提出一种多功能掩膜板搬运装置，可有效解决空间限制问题、成本问题、有效维护掩膜板的清洁度，设备简单易操作，节省人力。

技术领域

本发明涉及显示装置制造领域，特别涉及一种掩膜板搬运装置及其搬运方法。

背景技术

在液晶显示装置制造过程中会用到掩膜板(Mask)，掩膜板入厂后需经过解包、清洁、放入掩膜板承载盒(Mask Case)等操作才能应用于曝光设备。现有大尺寸的掩膜板搬运系统机构较多，包含独立的Mask转置台、Mask翻转检查台、Mask移载手臂、Mask Case承载台车等，占据空间大，操作繁琐；小尺寸生产线在Mask解包过程中，大多是从Mask包装盒中用手抬出Mask，放入Ma sk case，存在以下缺点：占据人力较多，且人体直接接触Mask，容易在Mask 边缘留下指纹，Mask亦有跌落损伤及砸伤人的安全隐患。

发明内容

本发明的目的是提供一种掩膜板搬运装置，解决现有搬运装置功能单一、占据空间大、小尺寸掩膜板人工搬运的问题。

一种掩膜板搬运装置，包括搬运小车本体、位于小车本体内部的转置装置以及位于转置装置上方的掩膜板拾取检测装置；所述转置装置用于将掩膜板包装盒在竖直状态和水平状态之间转换，所述转置装置包括平台部、与平台部垂直连接且用于固定掩膜板包装盒的对接部以及带动平台部转动的驱动轴；所述掩膜板拾取检测装置包括与搬运小车本体固定连接的升降轴、在升降轴上垂直移动的竖直升降杆、固定在竖直升降杆上的水平位移杆以及位于水平位移杆上的掩膜板拾取结构。

进一步，所述搬运小车本体包括基础框架，基础框架包括具有开放口的第一侧面、与第一侧面相对的第三侧面以及位于第一侧面和第三侧面之间且相对设置的第二侧面和第四侧面。

进一步，所述搬运小车本体在第二侧面、第三侧面或第四侧面的至少一个侧面上设有周边扶手。

进一步，所述搬运小车本体底部设有万向轮。

进一步，所述搬运小车本体上设有固定所述转置装置的状态锁定机构。

进一步，所述平台部上设有掩膜板包装盒的定位结构。

进一步，所述对接部的高度小于掩膜板包装盒竖直状态下最底端距地面的高度，对接部的宽度小于掩膜板包装盒的两个轮子之间的距离。

进一步，所述升降轴内设有传动机构；所述竖直升降杆通过所述传动机构连接实现升降。

进一步，掩膜板拾取检测装置还包括位于水平位移杆两端的一组挡片。

一种掩膜板搬运装置的搬运方法，包括如下步骤：

S1：掩膜板包装盒进入搬运小车本体内，转置装置的平台部的表面与掩膜板包装盒的表面贴合，转置装置的定位机构固定掩膜板包装盒；

S2：转置装置的驱动轴带动平台部进行逆时针旋转90度，掩膜板包装盒从垂直状态转为水平状态，状态锁定机构固定此时的掩膜板包装盒；

S3：打开掩膜板包装盒，掩膜板包装盒的上盖移走，掩膜板拾取检测装置对掩膜板进行拾取；

S4：由外部驱动机构带动掩膜板拾取检测装置的升降轴转动，掩膜板拾取检测装置的竖直升降杆在升降轴向上移动；

S5：竖直升降杆上升至合适位置，清洗装置对掩膜板进行正反面检查与清扫；