[发明专利]一种基于阻抗谱的压电器件结构缺陷检测方法

权利要求书

1.一种基于阻抗谱的压电器件结构缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：将一批已知合格的压电器件的正负电极与阻抗分析仪相连接，输出其阻抗谱；计算这些阻抗谱彼此之间的差异因子并求和，从中选择求和结果最小的阻抗谱作为标准阻抗谱；计算差异因子时采用的是阻抗谱中的相位信息；

差异因子的计算公式为：

其中，θ₁和θ₂分别是两个器件阻抗谱中各频率点对应的相位值，θ₀是在非谐振状态下压电器件的相位值；

步骤2：将一批已知合格与已知不合格的压电器件的正负极与阻抗分析仪相连接并输出其阻抗谱；计算这些阻抗谱与标准阻抗谱之间的差异因子，与标准阻抗谱之间的差异因子定义为损伤因子，选择合格样品与不合格样品损伤因子的临界值作为阈值；计算损伤因子时采用的是阻抗谱中的相位信息；

损伤因子的计算公式为：

其中，θ₃是压电器件阻抗谱在不同频率下对应的相位值，θ是标准阻抗谱中不同频率下的相位值，θ₀是在非谐振状态下压电器件的相位值；

步骤3：测试新生产的压电器件的阻抗谱，并计算其损伤因子，将损伤因子与阈值相比较，大于阈值的即为不合格样品，小于阈值的即为合格样品。