[发明专利]大幅面高精度贴合光学标定板的制造工艺

权利要求书

1.一种大幅面高精度贴合光学标定板的制造工艺，其特征在于，包括：

校验光学玻璃平整度，使用光学测试仪检测测试纸的图案精度；

对光学玻璃和标定测试纸进行除尘处理；

在第一贴合条件下对光学玻璃和标定测试纸进行第一次贴合，贴合完成后，如果产品贴合后产生气泡、碎屑、颗粒或褶皱，进行报废处理；

在第二贴合条件下对完成第一次贴合的光学玻璃和标定测试纸进行第二次贴合，如果产品贴合后产生气泡、碎屑、颗粒或褶皱，进行报废处理；

在第三贴合条件下对完成第二次贴合的光学玻璃和标定测试纸进行第三次贴合，如果产品贴合后产生气泡、碎屑、颗粒或褶皱，进行报废处理；

完成第三贴合后，产品常温静置24小时，最终产品达到设定的技术要求，完成大幅面高精度贴合光学标定板的制作。

2.根据权利要求1所述的大幅面高精度贴合光学标定板的制造工艺，其特征在于，所述第一贴合条件为：无尘室工作环境，相对环境温度和贴合温度为23.0±3.0℃，压力为2.0-3.0千克/平方厘米，速度为2.0-6.0米/分钟。

3.根据权利要求1所述的大幅面高精度贴合光学标定板的制造工艺，其特征在于，所述第二贴合条件为：无尘室工作环境，相对环境温度为23.0±3℃，贴合温度为60.0±3.0℃，压力为2.0-3.0千克/平方厘米，速度为2.0-6.0米/分钟。

4.根据权利要求1所述的大幅面高精度贴合光学标定板的制造工艺，其特征在于，所述第三贴合条件为：无尘室工作环境，相对环境温度和贴合温度为23.0±3.0℃，压力为2.0-3.0千克/平方厘米，速度为2.0-6.0米/分钟。

5.根据权利要求1所述的大幅面高精度贴合光学标定板的制造工艺，其特征在于，所述最终产品达到设定的技术要求为：产品平面度小于或等于0.25毫米，贴合图案的整体精度在0.003毫米以内。