[发明专利]Micro LED显示面板的制作方法有效
申请号: | 201810474811.3 | 申请日: | 2018-05-17 |
公开(公告)号: | CN108538877B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 陈黎暄 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;王中华 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | micro led 显示 面板 制作方法 | ||
本发明提供了一种Micro LED显示面板的制作方法。所述Micro LED显示面板的制作方法包括如下步骤:步骤S1、提供一驱动基板,在驱动基板上形成光刻胶层;步骤S2、对所述光刻胶层进行图案化处理,形成阵列排布的多个容置槽;步骤S3、在所述各个容置槽内设置Micro LED;通过图案化光刻胶层制作容置Micro LED的容置槽,能够降低制程难度,提升Micro LED的出光效率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种Micro LED显示面板的制作方法。
背景技术
随着可穿戴显示设备的快速发展,出现了微发光二极管(Micro LED,uLED)技术。Micro LED技术即LED微缩化和矩阵化技术,指的是在一个芯片上集成的高密度微小尺寸的LED阵列。Micro LED的耗电量远小于液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD),与有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)一样属于自发光,能够将像素之间的距离从毫米等级降至微米等级,色彩饱和度接近OLED,所以很多厂商把Micro LED视为下一代的显示技术。
现有技术通过微转印(Micro Transfer Print)法来制作Micro LED阵列:将LED裸芯片(Bare Chip)通过激光剥离(Laser Lift-off,LLO)技术从蓝宝石衬底上分离开后,使用一个图案化的转移基板(Transfer Layer)将LED裸芯片从供给基板吸附起来,转移到接收基板。具体地,这个接收基板是已经预先制备完成电路图案的硅基板,通过将转移基板与接收基板进行对位,转移基板上所吸附的LED裸芯片被贴附到接收基板的匹配位置,再剥离转移基板,即可完成LED裸芯片的转移。诸如US2013/0210194,US2013/0128585等专利对微转印技术有较为细致地描述。
现有技术中的Micro LED的尺寸大小远小于现有的像素尺寸。例如,现有的55寸的全高清显示面板中,其子像素的长宽分别约为在600μm和200μm,而Micro LED的尺寸约为10~50μm左右,这就导致Micro LED的周围有较大区域是不发光的。由于Micro LED发出的光是向各个方向的,因此会有较多的光能损耗在非显示方向上,光源的利用率较低。为了解决上述问题,现有技术提出了一种在基板上制作凹槽结构,并将Micro LED置于凹槽中,利用凹槽的提升Micro LED的光线利用率的技术方案,并且现有技术采用的是刻蚀的方法在基板上形成凹槽,但由于目前多数Micro LED的高度在5~10μm,直接在基板上刻蚀出大于5μm的凹槽在实际操作时制程难度很大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种Micro LED显示面板的制作方法,制作方法简便,可操作性高,且制得的Micro LED显示面板的出光效率高。
为实现上述目的,本发明提供了一种Micro LED显示面板的制作方法,包括如下步骤:
步骤S1、提供一驱动基板,在驱动基板上形成光刻胶层;
步骤S2、对所述光刻胶层进行图案化处理,形成阵列排布的多个容置槽;
步骤S3、在所述各个容置槽内设置Micro LED。
所述容置槽的坡度角小于60°。
所述光刻胶层的材料为树脂材料、亚克力材料或硅氧烷材料。
可选地,所述步骤S3中设置的Micro LED为垂直结构的Micro LED;
所述步骤S1中在形成所述光刻胶层之前还包括:在所述驱动基板上形成多个第一像素电极的步骤;
所述步骤S2中形成的每一个容置槽均对应暴露出一第一像素电极;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的