[发明专利]Micro LED显示面板的制作方法有效

专利信息
申请号: 201810474811.3 申请日: 2018-05-17
公开(公告)号: CN108538877B 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 陈黎暄 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂;王中华
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: micro led 显示 面板 制作方法
【说明书】:

本发明提供了一种Micro LED显示面板的制作方法。所述Micro LED显示面板的制作方法包括如下步骤:步骤S1、提供一驱动基板,在驱动基板上形成光刻胶层;步骤S2、对所述光刻胶层进行图案化处理,形成阵列排布的多个容置槽;步骤S3、在所述各个容置槽内设置Micro LED;通过图案化光刻胶层制作容置Micro LED的容置槽,能够降低制程难度,提升Micro LED的出光效率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种Micro LED显示面板的制作方法。

背景技术

随着可穿戴显示设备的快速发展,出现了微发光二极管(Micro LED,uLED)技术。Micro LED技术即LED微缩化和矩阵化技术,指的是在一个芯片上集成的高密度微小尺寸的LED阵列。Micro LED的耗电量远小于液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD),与有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)一样属于自发光,能够将像素之间的距离从毫米等级降至微米等级,色彩饱和度接近OLED,所以很多厂商把Micro LED视为下一代的显示技术。

现有技术通过微转印(Micro Transfer Print)法来制作Micro LED阵列:将LED裸芯片(Bare Chip)通过激光剥离(Laser Lift-off,LLO)技术从蓝宝石衬底上分离开后,使用一个图案化的转移基板(Transfer Layer)将LED裸芯片从供给基板吸附起来,转移到接收基板。具体地,这个接收基板是已经预先制备完成电路图案的硅基板,通过将转移基板与接收基板进行对位,转移基板上所吸附的LED裸芯片被贴附到接收基板的匹配位置,再剥离转移基板,即可完成LED裸芯片的转移。诸如US2013/0210194,US2013/0128585等专利对微转印技术有较为细致地描述。

现有技术中的Micro LED的尺寸大小远小于现有的像素尺寸。例如,现有的55寸的全高清显示面板中,其子像素的长宽分别约为在600μm和200μm,而Micro LED的尺寸约为10~50μm左右,这就导致Micro LED的周围有较大区域是不发光的。由于Micro LED发出的光是向各个方向的,因此会有较多的光能损耗在非显示方向上,光源的利用率较低。为了解决上述问题,现有技术提出了一种在基板上制作凹槽结构,并将Micro LED置于凹槽中,利用凹槽的提升Micro LED的光线利用率的技术方案,并且现有技术采用的是刻蚀的方法在基板上形成凹槽,但由于目前多数Micro LED的高度在5~10μm,直接在基板上刻蚀出大于5μm的凹槽在实际操作时制程难度很大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种Micro LED显示面板的制作方法,制作方法简便,可操作性高,且制得的Micro LED显示面板的出光效率高。

为实现上述目的,本发明提供了一种Micro LED显示面板的制作方法,包括如下步骤:

步骤S1、提供一驱动基板,在驱动基板上形成光刻胶层;

步骤S2、对所述光刻胶层进行图案化处理,形成阵列排布的多个容置槽;

步骤S3、在所述各个容置槽内设置Micro LED。

所述容置槽的坡度角小于60°。

所述光刻胶层的材料为树脂材料、亚克力材料或硅氧烷材料。

可选地,所述步骤S3中设置的Micro LED为垂直结构的Micro LED;

所述步骤S1中在形成所述光刻胶层之前还包括:在所述驱动基板上形成多个第一像素电极的步骤;

所述步骤S2中形成的每一个容置槽均对应暴露出一第一像素电极;

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