[发明专利]使用溶液法制作柔性板的方法

说明书

本发明涉及使用溶液法制作柔性板的方法。公开了一种用于制作柔性板的方法，所述方法包括：将碳纳米管施加到基板上；将聚合物溶液或单体溶液涂覆在施加有所述碳纳米管的所述基板上，所述溶液渗透在所述碳纳米管之间；固化所述溶液以形成包含所述碳纳米管的薄膜；以及在所述薄膜上形成柔性板。

本申请是申请日为2010年2月2日、申请号为201080043470.6、发明名称为“使用溶液法制作柔性板的方法”的中国专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种用于制作固定在硅片或玻璃基板上的柔性板的方法。

背景技术

为了使用用于传统硅片或玻璃基板的最佳制作设备，塑料板因其柔性而应当固定在硬基板上。

主要有三种用于将这样的塑料板固定在硬玻璃基板上的方法。

参照图1，提出了一种使用单面胶带将塑料板固定在玻璃基板上的方法。塑料膜2置于玻璃基板1上，并且塑料膜2的两端用单面胶带3固定。该方法非常简单并便于使用，但具有一个缺点，由于玻璃基板1没有粘附在塑料板上，以及玻璃基板和塑料板具有不同的热膨胀系数，则在高温工艺期间，塑料板产生凹陷。

图2示出使用双面胶层4固定玻璃基板1和塑料板2的方法。该方法的优点在于，可以改善玻璃基板和柔性板之间的粘合并且可以避免由高温工艺造成的塑料膜凹陷。然而，该方法具有难于控制粘合强度的缺点。也就是说，当双面胶层粘合强度高时，在完成整个工艺之后，需要大的外应力把塑料板和基板分离，以及当双面胶层粘合强度低时，则不利地，在该工艺期间基板与塑料板分离。

参照图3，为了解决上文提到的问题，牺牲层5置于玻璃基板1和塑料板2之间并在该工艺完成之后通过激光辐射加热以将所述膜和所述基板分离。该方法的优点在于，玻璃基板和塑料板之间的粘合得到改善，并且塑料板与玻璃基板分离时的应力可以被最小化。然而，该方法的缺点是，不可以循环使用牺牲层并且由于使用激光而使制作成本增加。

如图4所示，与上文提到的工艺不同，聚合物溶液6通过例如旋涂法的方法涂覆在玻璃基板1上以形成聚合物膜，随后所述膜被加热并固化，随后被去除。该方法也具有缺点，由于玻璃基板和聚合物膜之间有极其高的粘合强度，聚合物膜不能容易地分离。

发明内容

技术问题

因此，鉴于上述问题进行本发明，本发明的一个目的是提供一种使用碳纳米管制作柔性板的方法，其中，旋涂的碳纳米管层被涂覆聚合物化学溶液或单体化学溶液以最小化基板与聚合物膜接触的面积，并由此形成无需施加任何外应力或激光就可以与所述基板容易分离的柔性板。

本发明的另一目的是提供一种这样的制作柔性板的方法：通过使用含疏水物质的油墨形成沉积层来实现如上文所述与使用含碳纳米管的油墨相同的效果。

技术方案

根据本发明，以上目的和其他目的可以通过提供一种用于使用碳纳米管制造柔性板的方法来实现，所述方法包括：将含有碳纳米管的油墨旋涂在基板上以形成沉积层；以及将聚合物溶液或单体溶液旋涂在所述沉积的碳纳米管上以形成薄膜层。

具体地，可以用于上文所述方法的化学溶液可以选自芳香族聚酰亚胺、聚苯硫醚和含氟树脂。

更具体地，所述化学溶液为聚酰亚胺(PI)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。

上文所述的制作方法中可以使用的基板可以选自玻璃、硅片、不锈钢和刚玉。

可替换地，提供了一种用于通过重复上文所述制作方法至少一次以形成由所述沉积层和所述薄膜层组成的至少一个复合膜层来制作柔性板的方法。