[发明专利]一种铜铟镓硒太阳能电池组件的制作方法在审
申请号: | 201810401318.9 | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN110416326A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 赵树利;杨立红;叶亚宽;王磊 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/072;H01L31/18 |
代理公司: | 北京天驰君泰律师事务所 11592 | 代理人: | 孟锐 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨烯基复合薄膜 铜铟镓硒太阳能电池 本征氧化锌薄膜 铜铟镓硒薄膜 硫化镉薄膜 石墨烯薄膜 制作 透光率 镀膜 钼层 石墨烯复合薄膜 低电阻率 工艺难度 电阻率 纳米线 热压印 变薄 基板 喷涂 旋涂 封装 | ||
本发明涉及一种铜铟镓硒太阳能电池组件的制作方法,包括:在基板上依次形成钼层镀膜、铜铟镓硒薄膜、硫化镉薄膜和本征氧化锌薄膜;通过热压印转移的方法,将石墨烯基复合薄膜转移到EVA薄膜表面,其中,石墨烯基复合薄膜包括石墨烯薄膜和设置在石墨烯薄膜上的纳米线。利用带有石墨烯复合薄膜的EVA薄膜封装所述钼层镀膜、铜铟镓硒薄膜、硫化镉薄膜和本征氧化锌薄膜。本发明实施例所涉及的铜铟镓硒太阳能电池组件的制作方法,石墨烯基复合薄膜的厚度≤200nm,比起现有技术中的AZO薄膜约为800~1200nm的厚度,厚度明显变薄,石墨烯基复合薄膜的透光率可高达94%,同时电阻率低于8Ω/sq,具有优良的透光率和低电阻率,性能显著优于AZO薄膜,并且使用喷涂或旋涂的方法制作石墨烯基复合薄膜,降低了工艺难度。
技术领域
本发明涉及薄膜太阳能电池技术领域,特别地涉及一种铜铟镓硒太阳能电池组件的制作方法。
背景技术
铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池组件,通常都是利用氧化锌铝(AZO)充当透明导电层(TCO),作为电池芯片的前电极,用来收集电池产生的光电流。AZO层在CIGS薄膜太阳能电池组件中的位置,如图1中的6所示。为了提高CIGS薄膜太阳能电池组件的转换效率,要求AZO层需同时具备较高的透光率和较低的电阻率。
AZO通常是利用真空磁控溅射镀膜设备进行制备,根据Al2O3的掺杂浓度以及磁控溅射制备工艺的不同,AZO层的透光率和电阻率也存在差异。目前的CIGS薄膜太阳能电池组件中,AZO的厚度约为800~1200nm。
AZO薄膜通常是利用真空磁控溅射镀膜设备进行制备,真空磁控溅射镀膜设备占地空间比较大,且设备价格较高,维护成本高。另一方面,受限于AZO本身导电性和透光率的负相关关系,即AZO的厚度越大,导电性越好,但同时透过率越低,导致目前工艺条件下,AZO的厚度需要达到800~1200nm,才能兼顾较好的导电性和透过率。此外,AZO的薄膜性质依赖于AZO靶材的结构和组分,并且要求具有可靠、稳定的制备工艺,对制备工艺要求高,制备难度大。
发明内容
针对现有技术中存在的技术问题,本发明提出了一种铜铟镓硒太阳能电池组件的制作方法,降低了透明导电层的厚度和对制备工艺的要求。
本发明的一个方面提供了一种铜铟镓硒太阳能电池组件的制作方法,包括:
在基板上依次形成钼层镀膜、铜铟镓硒薄膜、硫化镉薄膜和本征氧化锌薄膜;
通过热压印转移的方法,将石墨烯基复合薄膜转移到EVA薄膜表面,其中,石墨烯基复合薄膜包括石墨烯薄膜和设置在石墨烯薄膜上的纳米线;
利用带有石墨烯复合薄膜的EVA薄膜封装所述钼层镀膜、铜铟镓硒薄膜、硫化镉薄膜和本征氧化锌薄膜。其中,所述方法还包括:
喷涂或旋涂金属纳米线网络结构到在石墨烯薄膜上,合成所述石墨烯基复合薄膜。
其中,所述石墨烯薄膜包括单层或少层石墨烯薄膜,所述石墨烯薄膜的厚度为0~1nm。
其中,所述石墨烯基复合薄膜的厚度为0~200nm。
其中,所述在基板上依次形成钼层镀膜、铜铟镓硒薄膜、硫化镉薄膜和本征氧化锌薄膜之后,还包括:
真空磁控溅射沉积AZO到本征氧化锌薄膜,形成AZO层,AZO层的厚度是20~400nm。
其中,所述纳米线包括非金属纳米线。
其中,所述非金属纳米线包括碳纳米管。
其中,所述纳米线包括至少一种金属纳米线。
其中,所述纳米线设置在本征氧化锌薄膜的一面。
其中,所述纳米线设置在远离本征氧化锌薄膜的一面。
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