[发明专利]一种利用多点拟合确定连续X射线背景强度的方法

说明书

本发明提供一种利用多点拟合确定连续X射线背景强度的方法，包括以下步骤：利用电子探针通过波谱扫描得到待测元素的波谱扫描图；在所述待测元素的波谱扫描图的峰的左边的连续X射线处选取n₁个波谱位置，右边的连续X射线处选取n₂个波谱位置；利用电子探针通过定量分析分别测试选取的每一个波谱位置处的连续X射线的强度；以选取的波谱位置为x轴，以测试的每一个波谱位置处的连续X射线的强度为y轴，进行曲线拟合，得到待测元素的背景拟合方程；将待测元素的峰所处的波谱位置代入背景拟合方程，即得到待测元素的背景强度值。本发明提供的方法有效消除了背景强度对微量元素的含量的测试结果的影响。

技术领域

本发明涉及电子探针测试技术领域，尤其涉及一种利用多点拟合确定连续X射线背景强度的方法。

背景技术

电子探针作为一种微区原位分析手段，可快速准确的分析固体样品的元素含量，在地质学、材料科学等领域得到广泛的应用，主要应用于主量元素的分析测试。电子探针相对于其它微区原位分析测试手段具有空间分辨率小、无损、测试准确的特点，因此利用电子探针开展微区原位微量元素的分析也越来越受到重视。

电子探针的基本原理是根据电子束轰击样品产生X射线，根据测试出来样品的元素的特征X射线的强度与标样的元素的特征X射线强度的对比,通过基质校正得出样品中元素的百分含量，其公式如下：

由此可见要准确获得样品中元素的含量，准确获得元素特征X射线的强度是一个非常重要的因素。

电子束与样品相互作用会产生连续X射线，连续X射线是X射线测量中不容忽视和不可避免的主要背景来源，所以在实验中测得的特征X射线强度必须扣除连续X射线所造成的背景强度，即进行背景修正，背景修正的公式为：

I_NET＝I_PEAK-I_BG

式中,I_NET为元素特征X射线的强度值，I_PEAK为元素峰位置的总X射线强度值，I_BG为元素峰位置的背景值。

传统的电子探针测试中，背景强度的测试利用的是两点背景测试法，即在峰的两边各选取一个位置(离峰位置的距离分别为L_BG-和L_BG+)测试连续X射线的强度(分别为I_BG-和I_BG+)，那么背景的强度I_BG可以根据以下公式计算出来：

然后计算出待测元素特征X射线强度，即I_NET＝I_PEAK-I_BG，带入元素含量的计算公式求出待测元素的含量。

然而背景形状并不是一条严格的直线，往往是弯曲的，这时候采用两点插值法会产生一定的误差，这对于信号峰值较高的主量元素是可以接受的，对峰值较低的微量元素却会严重影响测试的准确度。因此，在微量元素测试中，背景强度的准确测定是至关重要的，而传统的两点背景测试法并不适用于微量元素的测定。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种能够准确测试背景强度、有效消除微量元素的背景强度影响的利用多点拟合确定连续X射线背景强度的方法。

本发明提供一种利用多点拟合确定连续X射线背景强度的方法，包括以下步骤：

S1，利用电子探针通过波谱扫描得到待测元素的波谱扫描图；

S2，在所述待测元素的波谱扫描图的峰的左边的连续X射线处选取n₁个波谱位置，右边的连续X射线处选取n₂个波谱位置；