[发明专利]锍盐、抗蚀剂组合物及图案形成方法

权利要求书

1.一种锍盐，其用作光产酸剂且含有阴离子及阳离子，其特征在于，

所述阳离子具有下述通式(1)所示的局部结构，且为下述通式(2)所示的锍盐或下述(PAG-1)、(PAG-12)、(PAG-13)、(PAG-15)及(PAG-16)中的任一种的锍盐，

式中，R^fa及R^fb各自独立地为碳原子数为1～4的氟烷基；R^Xa为甲氧基甲基或烷氧羰基；R^a及R^b均为氢原子；A^1a为醚键或硫醚键；L^1a为单键；＊表示结合键，

式中，R¹、R²及R³各自独立地为氢原子、所述通式(1)所示的局部结构、可含杂原子的碳原子数为1～20的直链状、支链状或环状的一价烃基；p1、q1及r1各自独立地为0～5的整数；p1、q1或r1为2以上时，所对应的多个R¹、R²、或R³可相同或不同；其中，R¹、R²、及R³中的一个以上为所述通式(1)所示的局部结构，此时，所述通式(1)中的＊表示与苯环的结合键；Z^－为一价的阴离子，

其中，排除具有下述通式(1’)所示的阳离子的锍盐，

式中，R^fa及R^fb与上述相同，

2.根据权利要求1所述的锍盐，其特征在于，所述通式(1)中的R^fa及R^fb为三氟甲基。

3.根据权利要求1所述的锍盐，其特征在于，所述通式(1)中的A^1a为醚键。

4.根据权利要求1所述的锍盐，其特征在于，所述阴离子为下述通式(3)所示的阴离子，

式中，R¹⁰为可含杂原子的碳原子数为1～40的直链状、支链状或环状的一价烃基；L为单键或二价的连接基团；X^f1及X^f2各自独立地为氢原子或氟原子，或为被一个以上的氟原子取代的烷基；k为0～4的整数。

5.根据权利要求1所述的锍盐，其特征在于，所述阴离子为下述通式(4a)、(4b)、或(4c)所示的阴离子，

式中，R¹⁰为可含杂原子的碳原子数为1～40的直链状、支链状或环状的一价烃基；L为单键或二价的连接基团；A为氢原子或三氟甲基；s为0～5的整数。

6.一种抗蚀剂组合物，其特征在于，该抗蚀剂组合物含有：

(A)权利要求1～5中任一项所述的锍盐；

(B)基体树脂；及

(C)有机溶剂。

7.根据权利要求6所述的抗蚀剂组合物，其特征在于，所述抗蚀剂组合物进一步含有选自以下成分中的一种以上：

(D)除所述(A)成分以外的光产酸剂；

(E)猝灭剂；及

(F)表面活性剂。