[发明专利]晶圆适配器验证修复工具及其验证修复方法

权利要求书

1.晶圆适配器验证修复工具，其特征在于包括：矫正台(1)、识别对准器(2)、顶部平面修正台(3)和平面检查仪(4)；所述矫正台(1)设置有矫正槽(1.1)，矫正台(1)还为晶圆适配器和所述识别对准器(2)、顶部平面修正台(3)和平面检查仪(4)提供一个标准平面，所述顶部平面修正台(3)设置在矫正台(1)上时，顶部平面修正台(3)也为晶圆适配器提供一个标准平面；所述晶圆适配器包括晶圆适配器部件和连接片，所述矫正槽(1.1)用于对所述连接片进行检测和修复。

2.如权利要求1所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述矫正台(1)采用钢材制成，其上表面为一个标准平面，所述矫正槽(1.1)设置在矫正台(1)的侧边。

3.如权利要求2所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述矫正台(1)的标准平面的表面上各点位置的水平高度差值<0.01mm。

4.如权利要求1或2所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述矫正槽(1.1)的形状与连接片的形状相对应。

5.如权利要求1或2所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述矫正台(1)采用的钢材为屈服强度在1370MPa以上、抗拉强度在1620MPa以上的合金钢。

6.如权利要求1或2所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述矫正台(1)的侧边还设置有多个吊装耳用于吊车移动平台的吊装。

7.如权利要求2所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述识别对准器(2)用于检测和判断晶圆适配器传感器的平整度检测点的平整度和/或高度，识别对准器(2)用于放置在所述矫正台(1)标准平面的底部也为标准平面，且识别对准器(2)的检测面上设置有若干条高度位置不同的标准线(2.1)；标准线(2.1)用激光制作。

8.如权利要求2或7所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述识别对准器(2)的检测面为斜面。

9.如权利要求1所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述顶部平面修正台(3)为上、下面均为标准平面的环形台。

10.如权利要求1或9所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述顶部平面修正台(3)的侧边还设置有若干吊装耳。

11.如权利要求1所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述平面检查仪(4)通过支臂(5)高度和/或检测半径可调的悬空设置在所述矫正台(1)的标准平面上。

12.如权利要求11所述的晶圆适配器验证修复工具，其特征在于：所述支臂(5)为底部带有稳定座(5.3)的十字支臂，所述平面检查仪(4)位置可调地设置在十字支臂的横臂(5.2)上，十字支臂直臂(5.1)底部设置在稳定座(5.3)中，稳定座(5.3)底部为标准水平面，用于放置在矫正台(1)的标准平面上。