[发明专利]一种离子液体电沉积电镀装置及其方法

说明书

本发明涉及一种离子液体电沉积电镀装置，包括第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室、第一密封门、第二密封门、第三密封门、第四密封门、机械手、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、真空泵、第一平行气体阀门、第二平行气体阀门、第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀和保护气体源，整体结构设计合理，工件首先在第一隔离室脱水脱氧处理后，之后进入第二隔离室作离子液体电沉积电镀处理，最后进入第三隔离室作清洗处理，全过程在密封无氧无水环境下进行，无需人工操作自动化程度高，电脑控制提高了设备的可控性和灵活性，使用范围广操作简单实用。

技术领域

本发明涉及电镀领域，具体涉及一种离子液体电沉积电镀装置及其方法。

背景技术

低温离子液体电沉积技术是目前电镀行业向高效环保电镀发展的一个新方向，它有别于传统的电沉积电镀，不用水，不会产生大量废液非常环保，整个加工过程只需在室温或接近室温下进行，具有能耗低，无污染，条件温和等优点，可大幅降低能耗和生产成本，具有巨大的发展潜力，因此深受电镀厂家青睐，低温离子液体电沉积需通过专门的电沉积电镀装置来进行，以满足其在无水，无氧的工艺条件下工作，但是现有的电沉积电镀装置结构较为复杂，适用性有所不足，较难提供无水无氧环境。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供了一种离子液体电沉积电镀装置及其方法，使用本发明的装置和方法能够满足在无水无氧的环境下对工件实现整个离子液体电沉积电镀过程，具体技术方案如下：

一种离子液体电沉积电镀装置，包括第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室、第一密封门、第二密封门、第三密封门、第四密封门、机械手、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、真空泵、第一平行气体阀门、第二平行气体阀门、第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀和保护气体源，第一隔离室内部安装前处理槽, 第二隔离室内部安装液态离子电镀槽，第三隔离室安装溶剂清洗槽，第一密封门安装在第一隔离室侧方控制外部空间连通第一隔离室，第二密封门安装在第一隔离室与第二隔离室之间控制第一隔离室连通第二隔离室，第三密封门安装在第二隔离室与第三隔离室控制第二隔离室连通第三隔离室，第四密封门安装在第三隔离室侧方控制外部空间连通第三隔离室，第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室内部分别安装有一夹取输送工件的机械手，第一隔离室上方通过管路连接第一真空阀门，第二隔离室上方通过管路连接第二真空阀门，第三隔离室上方通过管路连接第三真空阀门，第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门通过管路分别连接真空泵，第一隔离室、第二隔离室之间通过管路连接第一平行气体阀门，第一平行气体阀门控制第一隔离室、第二隔离室气压相等，第二隔离室、第三隔离室之间通过管路连接第二平行气体阀门，第二平行气体阀门控制第二隔离室、第三隔离室气压相等，第一隔离室下方通过管路连接第一保护气体阀，第二隔离室下方通过管路连接第二保护气体阀，第三隔离室下方通过管路连接第三保护气体阀，第一保护气体阀、第二保护气体阀、第三保护气体阀通过管路分别连接保护气体源。

作为本发明装置的一种优选方案，工件预挂装在工件挂具上被机械手夹取依次输送到第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室。

作为本发明装置的一种优选方案，所述第一隔离室、第二隔离室、第三隔离室分别安装有测量内部压力的压力表。

一种离子液体电沉积电镀方法，包括以下步骤，

①打开第一密封门，第一隔离室的机械手将已预清洗、脱水、吹干的工件拉入第一隔离室的前处理槽；

②关闭第一密封门，打开第一真空阀门，真空泵进行抽真空处理以去除第一隔离室和工件的水分和氧气，真空度到达9～11Pa后,关闭第一真空阀门，打开第一保护气体阀，保护气体源向第一隔离室通入保护气体,当第一隔离室内气压达到常压时,关闭第一保护气体阀；