[发明专利]X射线衍射测定方法和装置

权利要求书

1.一种X射线衍射测定方法，其通过检测由于被测定物(M)而产生的X射线的衍射来测定所述被测定物(M)的性质状态，其中所述被测定物(M)位于入射光轴(30)和出射光轴(32)相交的交叉位置(34)，

该X射线衍射测定方法的特征在于，

具有配置工序和计算工序，其中，

所述配置工序将遮蔽板(26)和二维检测器(18)配置在所述出射光轴(32)上，其中：所述遮蔽板(26)上形成有直线状的狭缝(24)；所述二维检测器(18)能在检测区域(R)内检测通过所述狭缝(24)的X射线，

所述计算工序根据由所述二维检测器(18)检测到的二维X射线图像(70)来计算衍射图谱，该衍射图谱表示相对于所述被测定物(M)的衍射角的X射线强度，

在所述配置工序中将所述遮蔽板(26)配置为：所述狭缝(24)相对于垂直相交方向(A)至少沿绕所述出射光轴(32)的轴旋转的方向(C)倾斜，其中所述垂直相交方向(A)是指与所述入射光轴和所述出射光轴双方垂直的方向。

2.根据权利要求1所述的X射线衍射测定方法，其特征在于，

在所述计算工序中，使用与所述交叉位置(34)、所述狭缝(24)和所述检测区域(R)有关的几何学信息来计算与所述被测定物(M)的衍射位置对应的一幅或多幅所述衍射图谱。

3.根据权利要求2所述的X射线衍射测定方法，其特征在于，

所述被测定物(M)是含有多晶型且取向无序的材料，且具有10μm以上的厚度的物体，所述被测定物(M)被配置成使所述物体的厚度方向与所述入射光轴(30)平行的朝向。

4.根据权利要求2所述的X射线衍射测定方法，其特征在于，

所述被测定物(M)是层叠了含有多晶型且取向无序的材料的层状体(60a～60c)的物体，所述被测定物(M)被配置成使所述层状体(60a～60c)的层叠方向与所述入射光轴(30)平行的朝向。

5.根据权利要求1所述的X射线衍射测定方法，其特征在于，

所述二维检测器(18)是光子计数型检测器，

在所述计算工序中，根据在所述被测定物(M)、所述遮蔽板(26)和所述二维检测器(18)被固定的状态下由所述二维检测器(18)依次检测到的二维X射线图像(70)，来计算所述衍射图谱的时序。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的X射线衍射测定方法，其特征在于，

所述遮蔽板(26)被设置为可相对于所述出射光轴(32)转动。

7.一种X射线衍射测定装置(10)，其通过检测由于被测定物(M)而产生的X射线的衍射来测定所述被测定物(M)的性质状态，其中所述被测定物(M)位于入射光轴(30)和出射光轴(32)相交的交叉位置(34)，

该X射线衍射测定装置(10)的特征在于，

具有遮蔽板(26)、二维检测器(18)和图谱计算部(44)，其中，

所述遮蔽板(26)上形成有直线状的狭缝(24)；

所述二维检测器(18)能在检测区域(R)内检测通过所述狭缝(24)的X射线；

所述图谱计算部(44)根据由所述二维检测器(18)检测到的二维X射线图像(70)来计算衍射图谱，该衍射图谱表示相对于所述被测定物(M)的衍射角的X射线强度，

所述遮蔽板(26)和所述二维检测器(18)分别被配置在所述出射光轴(32)上，

所述遮蔽板(26)被配置为使所述狭缝(24)相对于与所述入射光轴(30)和所述出射光轴(32)双方垂直的垂直相交方向(A)，至少沿绕所述出射光轴(32)的轴旋转的方向(C)倾斜。