[发明专利]掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统

说明书

本发明公开了一种掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统，属于显示技术领域。该掩膜版承载设备包括：卡夹、夹具、固定组件和控制组件，掩膜版放置在卡夹的内部，该掩膜版通过夹具固定在卡夹的内壁上；该固定组件设置在卡夹的两侧，用于卡接卡夹，固定组件与控制组件连接，控制组件用于带动固定组件转动以使卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，该气流是对掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。本发明解决了相关技术中对掩膜版进行抽真空作业时气流中的颗粒总会附着在掩膜版上而影响OLED显示屏的质量，产品良率较低的问题，达到了提高OLED显示屏的质量，提高产品良率的效果。本发明用于对掩膜版进行抽真空。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统。

背景技术

目前，真空蒸镀工艺是制作有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示屏的重要工艺之一，真空蒸镀工艺是利用掩膜版通过真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成所需的图案。而在进行真空蒸镀工艺之前，常常需要对掩膜版进行抽真空作业。

相关技术中在对掩膜版进行抽真空作业时，先将掩膜版放置在卡夹的内部，然后将固定组件设置在卡夹的两侧，用于固定卡夹，之后，在中转腔室中采用真空泵对掩膜版抽真空，掩膜版的版面与抽真空时产生的气流的流向垂直。

通常中转腔室中会存在较多微小的颗粒，由于掩膜版的版面与气流方向垂直，且掩膜版本身设置有较多的小孔，所以当气流通过掩膜版时，气流中的颗粒总会附着在掩膜版上，后续在进行真空蒸镀工艺时，附着在掩膜版上的颗粒会落在待蒸镀基板上，从而影响OLED显示屏的质量，产品良率较低。

发明内容

本发明实施例提供了一种掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统，可以解决相关技术中对掩膜版进行抽真空作业时气流中的颗粒总会附着在掩膜版上而影响OLED显示屏的质量，产品良率较低的问题。所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种掩膜版承载设备，所述掩膜版承载设备包括：卡夹、夹具、固定组件和控制组件，

掩膜版放置在所述卡夹的内部，所述掩膜版通过所述夹具固定在所述卡夹的内壁上；

所述固定组件设置在所述卡夹的两侧，用于卡接所述卡夹，所述固定组件与所述控制组件连接，所述控制组件用于带动所述固定组件转动以使所述卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与气流的流向平行，所述气流是对所述掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。

可选的，所述控制组件包括承载轴和转动部件，

所述承载轴的一端设置在所述固定组件上，另一端设置在所述转动部件上，所述转动部件用于控制所述承载轴带动所述固定组件转动，以使所述卡夹中的掩膜版的版面与所述气流的流向平行。

可选的，所述控制组件还用于控制所述固定组件朝靠近或远离所述卡夹的方向移动。

可选的，所述夹具包括两个卡接件，所述两个卡接件分别设置在所述卡夹的两端，每个所述卡接件穿过所述卡夹的侧壁与所述掩膜版接触。

可选的，所述卡夹的内壁上设置有多对台肩，每对所述台肩上放置一个掩膜版，多个掩膜版的版面相互平行，

每个所述卡接件包括卡接杆和垂直设置在所述卡接杆上的多个相互平行的凸起结构，每个所述凸起结构的长度方向与任一掩膜版的版面平行，每个所述凸起结构穿过所述卡夹的侧壁，凸起结构与台肩交错排列。

可选的，所述卡夹的一侧设置有第一凸起结构，另一侧设置有第一凹陷结构，

所述固定组件包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件设置有与所述第一凸起结构相卡合的第二凹陷结构，所述第二固定件设置有与所述第一凹陷结构相卡合的第二凸起结构。