[发明专利]掩膜版承载设备、抽真空方法及抽真空系统

权利要求书

1.一种掩膜版承载设备，其特征在于，所述掩膜版承载设备包括：卡夹、夹具、固定组件和控制组件，

掩膜版放置在所述卡夹的内部，所述掩膜版通过所述夹具固定在所述卡夹的内壁上，所述夹具穿过所述卡夹的侧壁与所述掩膜版接触；

所述固定组件设置在所述卡夹的两侧，用于卡接所述卡夹，所述固定组件与所述控制组件连接，所述控制组件用于根据气流的流向带动所述固定组件转动以使所述卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与所述气流的流向平行，所述气流是对所述掩膜版进行抽真空作业时产生的气流。

2.根据权利要求1所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述控制组件包括承载轴和转动部件，

所述承载轴的一端设置在所述固定组件上，另一端设置在所述转动部件上，所述转动部件用于控制所述承载轴带动所述固定组件转动，以使所述卡夹中的掩膜版的版面与所述气流的流向平行。

3.根据权利要求1所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述控制组件还用于控制所述固定组件朝靠近或远离所述卡夹的方向移动。

4.根据权利要求1所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述夹具包括两个卡接件，所述两个卡接件分别设置在所述卡夹的两端，每个所述卡接件穿过所述卡夹的侧壁与所述掩膜版接触。

5.根据权利要求4所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述卡夹的内壁上设置有多对台肩，每对所述台肩上放置一个掩膜版，多个掩膜版的版面相互平行，

每个所述卡接件包括卡接杆和垂直设置在所述卡接杆上的多个相互平行的凸起结构，每个所述凸起结构的长度方向与任一掩膜版的版面平行，每个所述凸起结构穿过所述卡夹的侧壁，凸起结构与台肩交错排列。

6.根据权利要求1所述的掩膜版承载设备，其特征在于，所述卡夹的一侧设置有第一凸起结构，另一侧设置有第一凹陷结构，

所述固定组件包括第一固定件和第二固定件，所述第一固定件设置有与所述第一凸起结构相卡合的第二凹陷结构，所述第二固定件设置有与所述第一凹陷结构相卡合的第二凸起结构。

7.一种抽真空方法，其特征在于，所述方法包括：

将掩膜版放置在卡夹的内部；

将固定组件设置在所述卡夹的两侧，并采用夹具将所述掩膜版固定在所述卡夹的内壁上，所述夹具穿过所述卡夹的侧壁与所述掩膜版接触；

将所述固定组件与控制组件连接，并确定真空泵的气流的流向；

通过所述控制组件根据所述气流的流向，带动所述固定组件转动以使所述卡夹中的掩膜版发生转动，转动后的掩膜版的版面与所述气流的流向平行；

在中转腔室中采用所述真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在中转腔室中采用所述真空泵对转动后的掩膜版进行抽真空作业之后，所述方法还包括：

当所述中转腔室的真空度达到预设真空度时，通过控制组件带动所述固定组件转动，使得所述掩膜版恢复至初始位置。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在所述将固定组件设置在所述卡夹的两侧之后，所述方法还包括：

通过所述控制组件控制所述固定组件朝靠近或远离所述卡夹的方向移动。

10.一种抽真空系统，其特征在于，包括：真空泵和权利要求1至6任一所述的掩膜版承载设备，

所述真空泵的入口与所述掩膜版承载设备相对设置，用于对所述掩膜版承载设备中的掩膜版进行抽真空作业。