[发明专利]一种太阳能电池的制作方法在审

专利信息
申请号: 201810029783.4 申请日: 2018-01-12
公开(公告)号: CN110034194A 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 张超华;王树林;杨与胜 申请(专利权)人: 福建钧石能源有限公司
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 362000 福建省泉州*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 电池片 太阳能电池 电池片表面 油墨 制作 本征非晶硅层 单晶硅 单晶硅表面 透明导电膜 感光油墨 化学蚀刻 碱性溶液 金字塔状 图形转移 涂布油墨 油墨去除 栅线图形 低成本 电沉积 铜去除 种子层 包覆 吹干 烘干 溅射 绒面 显影 栅线 沉积 清洗 曝光
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述方法包括如下步骤:

单晶硅通过湿法制程获得金字塔状的绒面;

通过PECVD的方法在单晶硅表面获得本征非晶硅层和P型掺杂非晶硅层、N型掺杂非晶硅层,形成PN结的电池片;

通过PVD的方法在已形成PN结的电池片上溅射一层透明导电膜TCO和种子层;

采用涂布油墨的方法在电池片表面均匀包覆感光油墨;

对包覆感光油墨后的电池片进行烘干再进行曝光、显影,在电池片两面的油墨上同时完成图形转移;

通过电沉积的方法在油墨的图形上沉积形成栅线;

用碱性溶液将电池片双面多余的油墨去除;

通过水平化学蚀刻的方法将电池片表面的种子铜去除,并清洗吹干。

2.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述油墨涂布的方法采用网版涂布、辊式涂布、浸没式涂布其中之一。

3.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述电池片表面包覆的感光油墨为液态,油墨的成膜厚度为15um~28um之间。

4.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制作方法,其特征在于:所述栅线包括细栅线,宽度在40um以内。

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