[发明专利]一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备

权利要求书

1.一种稳定装置，其特征在于，包括：位移传感器、控制器，以及设置在机械臂的末端的第一喷嘴、第二喷嘴；所述第一喷嘴位于所述机械臂的上表面，且其喷气方向与所述机械臂的上表面垂直；所述第二喷嘴位于所述机械臂的下表面，且其喷气方向与所述机械臂的下表面垂直；所述位移传感器用于检测所述机械臂的竖直方向位移，并触发所述控制器根据位移方向控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴喷气；所述第一喷嘴和所述第二喷嘴均包括开口大小可调的嘴部；所述控制器还用于根据位移大小控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴的嘴部开口大小。

2.根据权利要求1所述的稳定装置，其特征在于，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴的嘴部开口大小正比于所述机械臂的竖直方向位移大小。

3.根据权利要求2所述的稳定装置，其特征在于，所述控制器根据位移大小控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴的嘴部开口大小时，基于如下公式：

S＝(C_m+C_v)*Min-Max scaling(a)

其中，S为嘴部开口面积；a为机械臂的位移大小；Min-Max scaling为线性归一化函数，用于对所述位移大小进行归一化处理；C_m为机械臂质量常数；C_v为机械臂搬运速度常数。

4.根据权利要求1所述的稳定装置，其特征在于，所述机械臂的末端还设置有用于对基板进行阻挡限位的防护头。

5.根据权利要求4所述的稳定装置，其特征在于，所述防护头的材质为橡胶。

6.根据权利要求1所述的稳定装置，其特征在于，所述机械臂内部设置有与所述第一喷嘴和所述第二喷嘴连接的气体输送管路。

7.一种如权利要求1至6任意一项所述的稳定装置的工作方法，其特征在于，包括：

通过所述位移传感器检测所述机械臂的竖直方向位移；

通过所述控制器根据位移方向控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴喷气。

8.一种机械臂，其特征在于，包括如权利要求1至6任意一项所述的稳定装置。

9.一种显示面板生产设备，其特征在于，包括如权利要求8所述的机械臂。