[发明专利]集成光学开关

权利要求书

1.一种集成的光学开关，在半导体衬底中和半导体衬底上制造，集成的所述光学开关包括：光电导体体部(PC)，所述光电导体体部(PC)包括：第一端(1)和第二端(2)，所述第一端(1)被配置为接收电输入信号，所述第二端(2)被配置为递送电输出信号，所述光电导体体部(PC)被配置为具有电接通状态和电关断状态，所述电接通状态通过存在光学信号(SO)来激活，并且所述电关断状态通过不存在光学信号(SO)来激活，其中从所述第一端到所述第二端的方向限定了纵向方向(D3)，并且所述光电导体体部具有与所述纵向方向(D3)正交的横截面，所述横截面沿所述纵向方向(D3)从所述第一端(1)向所述第二端(2)减小。

2.根据权利要求1所述的光学开关，其中所述光电导体体部(PC)的所述横截面沿着逐渐减小的包络(E)而逐渐减小。

3.根据权利要求2所述的光学开关，其中所述横截面具有沿第一方向(D1)呈现的第一尺寸，沿与所述第一方向(D1)正交的第二方向(D2)呈现的第二尺寸，并且所述光电导体体部(PC)的所述横截面的所述第一尺寸逐渐减小，所述第二尺寸保持恒定。

4.根据权利要求3所述的光学开关，其中所述第一尺寸是所述横截面的宽度，所述横截面的所述宽度平行于所述衬底的上表面被测量，所述第二尺寸是所述横截面的高度，所述横截面的所述高度垂直于所述衬底的所述上表面被测量。

5.根据权利要求3至4中的任一项所述的光学开关，其中所述光电导体体部(PC)的所述第一尺寸沿所述包络(E)阶梯式地减小，所述包络(E)在所述纵向方向(D3)上随相对于所述第一端(1)的距离而线性地减小。

6.根据权利要求3至4中任一项所述的光学开关，其中所述光电导体体部(PC)的所述第一尺寸沿所述包络(E)阶梯式地减小，所述包络(E)在所述纵向方向(D3)上随相对于所述第一端(1)的距离而指数地减小。

7.根据权利要求6所述的光学开关，其中所述光电导体体部(PC)的所述包络(E)的所述第一尺寸随如下项的乘积而指数地减小：所述光电导体体部(PC)的吸收系数(α)和在所述纵向方向(D3)上相对于所述第一端(1)的所述距离。

8.根据权利要求5所述的光学开关，其中所述光电导体体部(PC)包括多个并置的部分(p)，多个并置的所述部分沿所述纵向方向(D3)被布置在所述第一端(1)和所述第二端(2)之间，所述部分(p)被配置为使得在所述第一方向(D1)上测量的所述部分(p)的相应横截面的所述第一尺寸随着阶梯而减小。

9.根据权利要求3至4中的任一项所述的光学开关，其中所述光学信号在所述第一端(1)处被递送，并且旨在沿所述纵向方向(D3)传播。

10.根据权利要求3至4中的任一项所述的光学开关，其中所述衬底(S)是绝缘体上硅衬底，所述绝缘体上硅衬底包括在掩埋绝缘层(30)上制造的半导体膜，所述掩埋绝缘层(30)是在载体衬底(31)上制造的，所述第一方向(D1)与所述掩埋绝缘层(30)平行，并且所述第二方向(D2)与所述掩埋绝缘层正交，并且所述光电导体体部(PC)是在所述半导体膜中制造的。

11.一种集成电子电路，包括：至少一个根据前述权利要求中的任一项所述的光学开关(DIS)。

12.根据权利要求11所述的电路，所述电路是采样保持电路(EB)。