[发明专利]偏振器装置以及具有偏振器装置的EUV辐射产生设备

权利要求书

1.一种偏振器装置(1)，所述偏振器装置用于使激光射束(2)偏振，所述偏振器装置包括：

多个板状光学元件(5，...，10；5，...，16)，所述多个板状光学元件布置在所述激光射束(2)的射束路径中，所述多个板状光学元件分别具有用于所述激光射束(2)的射束入射面(5a，6a，...)以及用于所述激光射束(2)的射束出射面(5b，6b，...)，其中，相应的板状光学元件(5，...，10；5，...，16)的所述射束入射面(5a，6a，...)相对于所述激光射束(2)以布鲁斯特角(α_B)取向，

其中，所述板状光学元件(5，...，10；5，...，16)的所述射束入射面(5a，6a，...)与所述射束出射面(5b，6b，...)彼此分别以至少一个不等于零的楔角(γ₁，γ₂)取向，

其特征在于，

在至少一个板状光学元件(6，8，10)中，第一楔角(γ₁)位于所述激光射束(2)到所述光学元件(6，8，10)的所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中，并且在所述偏振器装置中，第二楔角(γ₂)位于垂直于所述激光射束(2)的所述入射平面(XY)延伸的平面(XZ)中。

2.根据权利要求1所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在至少一个板状光学元件(5，...，10)中，所述楔角(γ₁)位于所述激光射束(2)到所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中。

3.根据权利要求1或2所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在至少一个板状光学元件(5，...，10)中，所述楔角(γ₂)位于如下平面(XZ)中：所述平面垂直于所述激光射束(2)到所述射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)延伸。

4.根据权利要求1或2所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，满足以下两种情况中的至少一种：

所述板状光学元件(5，...，10；5，...，16)在所述激光射束(2)到相应的射束入射面(5a，6a，...)上的入射平面(XY)中分别具有相同的楔角(γ₁)；

所述板状光学元件在垂直于所述激光射束(2)的入射平面(XY)延伸的平面(XZ)中分别具有相同的楔角(γ₂)。

5.根据权利要求1或2所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，所述至少一个楔角(γ₁，γ₂)小于1.0°。

6.根据权利要求1或2所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在入射的激光射束(2)的射束方向(3)上，在所述射束路径中彼此相继的各两个板状光学元件(5，6；6，7；...)彼此具有小于5mm的最小间距(A)。

7.根据权利要求1或2所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在所述激光射束(2)的射束路径中彼此相继的至少两个板状光学元件(5，6)中，所述射束入射面(5a，6a)与所述射束出射面(5b，6b)彼此不平行地取向。

8.根据权利要求1或2所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在所述激光射束(2)的射束路径中彼此相继的至少两个板状光学元件(5，...，10)以所述板状光学元件的处于共同的平面(XY)中的楔角(γ₁)同向地取向。

9.根据权利要求8所述的偏振器装置，在所述偏振器装置中，在所述激光射束(2)的射束路径中彼此相继的、同向地取向的至少三个板状光学元件(5，...10)分别相对于彼此转过相同的旋转角(δ₁)。