[发明专利]传感器装置

权利要求书

1.一种传感器装置，是对检测对象与在自动装置中设置的能够移动的移动部的接近或者接触进行检测的传感器装置，所述传感器装置的特征在于，

所述传感器装置具备在从所述移动部离开的位置对所述检测对象进行检测的第一传感器，并且具备在比该第一传感器靠近该移动部的位置对该检测对象进行检测的第二传感器、以及在比该第一传感器靠近该移动部的位置对该检测对象进行检测的第三传感器，

由该第二传感器和该第三传感器的双方在与该第一传感器能够检测到的位置相比而靠近该移动部的位置来检测该检测对象向该移动部的接近。

2.根据权利要求1所述的传感器装置，其特征在于，所述第二传感器的检测区域和所述第三传感器的检测区域的在从所述移动部离开的方向上的范围彼此不同。

3.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其特征在于，所述第二传感器的检测区域和所述第三传感器的检测区域彼此重叠。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器装置，其特征在于，所述第二传感器和所述第三传感器的至少一方被设为检测所述检测对象对所述移动部的接触的接触传感器。

5.根据权利要求4所述的传感器装置，其特征在于，被设为接触传感器的所述第二传感器和所述第三传感器的至少一方具有在设为能够弹性变形的电介质层的表面上固定有设为能够变形的第一电极和第二电极的各一方的构造，并被设为静电容量型传感器，所述静电容量型传感器基于静电容量值的变化来检测相对于所述第一电极和所述第二电极的间隔了该电介质层的对置部分而作用于对置方向的压力。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的传感器装置，其特征在于，所述第二传感器和所述第三传感器通过彼此相同的检测原理来检测所述检测对象。

7.根据权利要求6所述的传感器装置，其特征在于，所述第二传感器和所述第三传感器共用一个检测电路。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的传感器装置，其特征在于，所述第一传感器设为能够在与所述移动部所能够移动的危险区域相比而靠外侧处检测出所述检测对象。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的传感器装置，其特征在于，在所述移动部的外侧配置有缓冲用的弹性缓冲层，所述第二传感器和所述第三传感器相对于该移动部配置在比该弹性缓冲层靠外侧处。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的传感器装置，其特征在于，在所述第二传感器和所述第三传感器之间配置有中间缓冲层。

11.根据权利要求10所述的传感器装置，其特征在于，所述第二传感器被设为对所述检测对象的接触进行检测的接触传感器，所述中间缓冲层配置于比该第二传感器靠外侧处，并且该中间缓冲层中的向该第二传感器的重叠面被设为具备朝向该第二传感器突出的凸部的凹凸面形状。