[发明专利]硬涂层系统以及用于以连续卷绕式工艺制造硬涂层系统的方法

说明书

描述一种适用于在触控屏幕面板中使用的硬涂层系统(100)。硬涂层系统(100)包括柔性基板(101)及设置于柔性基板(101)上的层堆叠物(110)。层堆叠物(110)包括粘附促进层(111)及无机硬涂顶层(113)，粘附促进层设置于柔性基板(101)上。粘附促进层(111)构造成以共价键结合于柔性基板的表面，其中粘附促进层(111)在与柔性基板(101)的界面(102)处的机械性质适用于柔性基板(101)的机械性质。

技术领域

本公开内容的多个实施方式涉及多种适用于在光电装置中使用的硬涂层系统及多种以连续卷绕式(roll-to-roll)工艺制造这类硬涂层系统的方法。特别是，本公开内容的多个实施方式涉及包括沉积于柔性基板上多层的堆叠物的多种硬涂层系统。更具体来说，本公开内容的多个实施方式涉及多种通过连续卷绕式真空沉积工艺制造的硬涂层系统。

背景技术

在封装产业、半导体产业和其他产业中，对柔性基板如塑料膜或箔的处理是有着高度需求的。处理可由以所希望的材料例如金属特别是铝、半导体及电介质材料涂布柔性基板、蚀刻和为了所希望的应用在基板上进行的其他处理行为所组成。执行这项任务的系统典型地包括处理鼓，例如圆柱形的辊。处理鼓耦接到处理系统用于传送基板，且基板的至少一部分在处理鼓上被处理。因此，卷绕式(R2R)涂布系统可提供高产量系统。

一种工艺，如物理气相沉积(physical vapor deposition，PVD)工艺、化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)工艺及等离子体增强气相沉积(plasma enhancedchemical vapor deposition，PECVD)工艺，典型地能够用于沉积能够被涂布到柔性基板上的金属薄层。特别是，卷绕式沉积系统在显示器产业及光伏(photovoltaic，PV)产业正经历需求的强烈增加。

由经涂布的柔性基板制成的产品的实例为触控面板或有机发光二极管(OLED)显示器。相较于液晶显示器(LCD)，由于触控面板或有机发光二极管(OLED)显示器更快的响应时间、更大的视角、更高的对比度、更轻的重量、更低的功率及对柔性基板的适应性(amenability)，近来在显示器应用中得到显著的关注。

所以多年来，光电装置如显示装置或触控面板已逐渐发展成多层系统，其中不同的层具有不同的功能。然而，传统的多层系统的质量仍需改良，例如抗刮性(scratchresistance)仍需改良。

鉴于前述情况，存在提供克服至少部分现有技术中的问题的适用于在光电装置中使用的硬涂层系统及制造这些硬涂层系统的方法的需求。

发明内容

鉴于上述情况，提供根据本公开内容的硬涂层系统以及用于制造硬涂层系统的方法。本公开内容另外的方面、优点及特征从权利要求、说明书和附图而明朗。

根据本公开内容的一方面，提供一种适用于在触控屏幕面板中使用的硬涂层系统。硬涂层系统包括柔性基板及设置在柔性基板上的层堆叠物。层堆叠物包括粘附促进层及无机硬涂顶层，粘附促进层设置于柔性基板上。粘附促进层构造成以共价键结合于柔性基板的表面，其中粘附促进层在与柔性基板的界面处的机械性质适用于柔性基板的机械性质。