[发明专利]微机电系统装置中的传感器功率斜变

说明书

微机电系统(MEMS)装置包括至少一个基板、盖子、MEMS部件、传感器和电源。所述盖子联接至所述基板，使得所述基板和所述盖子共同限定出内腔。所述MEMS部件设置在所述内腔内。所述传感器设置在所述内腔内且布置成检测所述内腔的参数。所述电源向所述传感器提供电流。所述电源被配置为在所述电流的斜升过渡和所述电流的斜降过渡期间控制电流，使得所述斜升过渡和所述斜降过渡具有衰减的高频分量。

有关申请的交叉引用

本申请要求2016年12月5日提交的美国临时申请第62/430,092号的权益和优先权，其全部内容以引用的方式并入本文。

背景技术

提供以下描述是为了帮助读者理解。所提供的信息均不被视为是现有技术。

当构建高性能、高密度装置(诸如，手机、数码静态相机、便携式音乐播放器和其它便携式电子装置)时需要紧凑型部件。然而，随着部件变得更为小型化且装置变得越来越高密度，部件之间的交互可以影响部件或装置的性能。提供高质量、紧凑型装置的一种解决方案是使用微机电系统(MEMS：microelectromechanical system)。

发明内容

在一个方面中，MEMS装置包括：MEMS元件；传感器，该传感器用于检测参数；和电源，该电源向传感器提供电流。在实施例中，电源布置成在电流的斜升过渡和电流的斜降过渡期间控制电流，在斜升过渡和斜降过渡期间控制电流使所提供的电流的高频分量衰减。在各种实施例中，参数是温度、湿度、压力、气体存在、或气体密度。在一些实施例中，MEMS元件包括声学装置。在这些和其它实施例中，高频分量的衰减减轻了对从声学装置提供的声学信息产生的热噪声效应和电噪声效应中的一者或两者。

在一个方面中，用于将电力从电源提供到定位于MEMS装置内的传感器的方法包括如下步骤：根据斜升曲线将电流从电源提供到传感器，其中，控制来自电源的电流，使得斜升曲线(ramp-up profile)具有衰减的高频分量，并且根据斜降曲线将电流从电源提供到传感器，其中，控制来自电源的电流，使得斜降曲线具有衰减的高频分量。在一些实施例中，斜升曲线和斜降曲线中的一者或两者是非线性的。在这些和其它实施例中，斜升曲线和斜降曲线中的一者或两者具有对数或指数曲率。在一些实施例中，高频分量的衰减减轻了针对从MEMS装置的声学装置提供的声学信息所产生的热噪声效应和电噪声效应。

前述发明内容是说明性的，且不旨在以任何方式进行限制。除以上描述的说明性方面、实施例和特征之外，其它方面、实施例和特征将通过参考以下附图和详细描述而变得显而易见。

附图说明

本发明的前述和其它特征将通过以下说明书、权利要求书和附图而变得更加显而易见。

图1是根据一个实施例的MEMS装置的透视图。

图2是图1的MEMS装置的分解图。

图3是沿着线3-3截取的图1的MEMS装置的横截面图。

图4A是示出了斜变曲线的电流与时间的关系的曲线图，该斜变曲线可以由图1 的实施例或其它实施例中的MEMS装置使用。

图4B绘制了方波电流脉冲。

图4C绘制了方波电流脉冲的功率谱。

图5是表示了在图1的实施例或其它实施例中运行MEMS装置的方法的流程图。

图6A图示了根据一个实施例的用于控制电流脉冲的过渡时间的系统的示例。

图6B图示了根据一个实施例的用于控制电流脉冲的过渡时间的系统的示例。