[发明专利]脉冲激光装置、加工装置及脉冲激光装置的控制方法

说明书

脉冲激光装置具备激光源、电光调制器、激光源驱动部、电光调制器驱动部、和对激光源驱动部及电光调制器驱动部进行控制的控制部，激光源输出由激光源驱动部进行了脉冲调制的脉冲激光，电光调制器输出由电光调制器驱动部对激光源所输出的脉冲激光进一步进行了脉冲调制的脉冲激光，控制部对激光源驱动部与电光调制器驱动部进行控制，以使得针对激光源的脉冲调制与针对电光调制器的脉冲调制，至少在激光源为接通状态的期间内电光调制器变成接通状态，并且在激光源为断开状态的期间内电光调制器至少1次变成接通状态，使针对电光调制器的脉冲调制的占空比高于针对激光源的脉冲调制的占空比。

技术领域

本发明涉及脉冲激光装置、加工装置及脉冲激光装置的控制方法。

背景技术

以往，公开一种所谓的MOPA(Master Oscillator Power Amplifier)型的脉冲激光装置(参照专利文献1)，其将从作为种子光源的脉冲激光装置输出的、作为种子光的脉冲激光，在光纤放大器等的光放大器中放大，并输出高强度的脉冲激光。这种脉冲激光装置被使用于激光加工等。

MOPA型的脉冲激光装置中，通过使种子光的脉冲宽度变化，从而能变更根据激光加工的用途或材料而从脉冲激光装置输出的脉冲激光的脉冲宽度，能够进行加工的最佳化。特别是，作为用于获得1ns以下的脉冲宽度的技术，有利用强度调制型的电光调制器(EOM：Electro-Optic Modulator)将脉冲光的一部分切出并输出的方法(专利文献2)。EOM是也被使用在光通信的用途中的调制器，但由于能够进行10GHz以上的高速的响应，故能够实现1ns以下的脉冲宽度。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2002-118315号公报

专利文献2：JP专利第4232130号公报

发明内容

-发明所要解决的技术问题-

脉冲激光装置也有时在“低反复频率”并且“短脉冲宽度”的条件下被使用。该条件例如是反复频率为10kHz、脉冲宽度为100ps这样的条件。该情况下，该脉冲激光的占空比变成0.0001％这样非常低的值。

为了驱动EOM，需要RF放大器之类的驱动电路。在此，EOM的驱动电路的大半主要被用于通信用途，因此有时被构成为High状态(或者接通状态)和Low状态(或者断开状态)的比例为同等程度，即在占空比为50％程度的驱动条件下最佳地进行动作。上述那样的驱动电路中，例如占空比为50％的情况下输出电压成为最大的振幅，但具有随着占空比从50％远离，输出电压的振幅减小的特性。

如上述的例子那样在占空比非常小的条件下，驱动电路无法向EOM输出EOM的适当的驱动所需的振幅的电压，通过EOM及EOM被切出的脉冲激光的接通/断开消光比有可能会降低。另一方面，为了构成即便在占空比非常小的条件下也能向EOM输出需要的振幅的电压的驱动电路，因为有必要做成高输出，所以驱动电路大型化成为课题。

本发明是鉴于上述课题而进行的，其目的在于提供一种在优选的状态下能够输出占空比低的脉冲激光的脉冲激光装置、加工装置及脉冲激光装置的控制方法。

-用于解决技术问题的手段-

为了解决上述的课题，并达成目的，本发明的一方式所涉及的脉冲激光装置的特征在于，具备：

激光源；

电光调制器；

以脉冲调制来驱动所述激光源的激光源驱动部；

以脉冲调制来驱动所述电光调制器的电光调制器驱动部；和

对所述激光源驱动部与所述电光调制器驱动部进行控制的控制部，