[发明专利]脉冲激光装置、加工装置及脉冲激光装置的控制方法

权利要求书

1.一种脉冲激光装置，其特征在于，具备：

激光源；

电光调制器；

以脉冲调制来驱动所述激光源的激光源驱动部；

以脉冲调制来驱动所述电光调制器的电光调制器驱动部；和

对所述激光源驱动部与所述电光调制器驱动部进行控制的控制部，

所述激光源输出由所述激光源驱动部进行了脉冲调制的脉冲激光，

所述电光调制器输出由所述电光调制器驱动部对所述激光源所输出的脉冲激光进一步进行了脉冲调制的脉冲激光，

所述控制部对所述激光源驱动部与所述电光调制器驱动部进行控制，以使得针对所述激光源的脉冲调制与针对所述电光调制器的脉冲调制至少在所述激光源为接通状态的期间内所述电光调制器变成接通状态，并且在所述激光源为断开状态的期间内，所述电光调制器至少1次变成接通状态，使针对所述电光调制器的脉冲调制的占空比高于针对所述激光源的脉冲调制的占空比。

2.根据权利要求1所述的脉冲激光装置，其特征在于，

所述控制部对所述激光源驱动部与所述电光调制器驱动部进行控制，以使得针对所述电光调制器的脉冲调制的反复频率是恒定的，并且该反复频率比针对所述激光源的脉冲调制的反复频率大。

3.根据权利要求2所述的脉冲激光装置，其特征在于，

在将N设为2以上的整数时，针对所述电光调制器的脉冲调制的反复频率为针对所述激光源的脉冲调制的反复频率的N倍。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的脉冲激光装置，其特征在于，

所述激光源为接通状态下的、针对所述电光调制器的脉冲调制的脉冲宽度小于针对所述激光源的脉冲调制的脉冲宽度。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的脉冲激光装置，其特征在于，

所述控制部对所述激光源的脉冲调制的脉冲宽度进行调整，并将输入至所述电光调制器的激光的脉冲宽度设定为3ns以下。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的脉冲激光装置，其特征在于，

所述控制部通过对所述激光源的脉冲调制的脉冲宽度进行调整，从而将被输入至所述电光调制器的激光的脉冲宽度设定为与所希望的猝发脉冲串产生的期间相当的脉冲宽度，而且将该激光的反复频率设定为所述所希望的猝发脉冲串的反复频率，并且，

将所述电光调制器驱动脉冲信号的反复频率设定为与所述所希望的猝发脉冲串的脉冲间隔相应的反复频率。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的脉冲激光装置，其特征在于，

所述脉冲激光装置还具备：

接受从所述电光调制器输出的脉冲激光，将该脉冲激光放大并输出的光放大器。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的脉冲激光装置，其特征在于，

所述脉冲激光装置还具备：

调整针对所述电光调制器的脉冲调制的占空比的占空比调整部。