[发明专利]具有电光射束转向的低成本和紧凑的光学相控阵列

权利要求书

1.一种装置，包括：

波导输入，所述波导输入接收光；

光学分路器，所述光学分路器连接到所述波导输入以形成分路信号；

波导的阵列，所述波导的阵列接收所述分路信号；

相位调谐区域，所述相位调谐区域包括围绕所述波导的阵列的包覆内的电极，其中所述相位调谐区域在相位调谐控制电路的控制下产生电光效应，所述相位调谐控制电路向所述电极施加电场以在所述波导的阵列中呈现相位差分路信号；以及

输出阵列波导，所述输出阵列波导基于所述相位差分路信号之间的相对相位差将所述相位差分路信号作为转向射束发射。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述相位调谐区域中的波导间隔比所述分路信号的工作波长大一个数量级。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述输出阵列波导的间隔大幅小于所述相位调谐区域中的波导间隔。

4.如权利要求1所述的装置，其中所述转向射束具有大约50度或更大的转向角。

5.如权利要求1所述的装置，其中所述转向射束具有大幅小于1度的发散角。

6.如权利要求1所述的装置，其中所述电极为金属。

7.如权利要求1所述的装置，其中所述电极为高掺杂硅。

8.如权利要求1所述的装置，其中所述包覆和所述波导的阵列由电光材料制成。

9.如权利要求1所述的装置，其中所述包覆由氮化铝制成，并且所述波导的阵列由折射率大于氮化铝的材料制成。

10.如权利要求1所述的装置，其中所述包覆由氮化镓制成，并且所述波导的阵列由折射率大于氮化镓的材料制成。

11.如权利要求1所述的装置，其中所述波导的阵列由氮化铝制成。

12.如权利要求1所述的装置，其中所述波导的阵列由氮化镓制成。

13.如权利要求1所述的装置，其中所述波导的阵列为氮化铝和氮化镓的混合。

14.如权利要求1所述的装置，还包括硅衬底。

15.如权利要求1所述的装置，还包括产生所述光的集成光源。

16.如权利要求1所述的装置，还包括集成的面外组件。

17.如权利要求16所述的装置，其中所述集成的面外组件包括光栅。

18.如权利要求16所述的装置，其中所述集成的面外组件包括有角镜。