[发明专利]运输辊有效

专利信息
申请号: 201780070258.0 申请日: 2017-09-21
公开(公告)号: CN109937472B 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 费迪南多·温诺;斯特凡·格鲁斯纳 申请(专利权)人: 德国艾托特克公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 林斯凯
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 运输
【权利要求书】:

1.一种用于运输衬底(3)的水平运输系统(2)的运输辊(1、1'),其中所述运输辊(1、1')基本上具有实心本体辊的形式,其特征在于:

所述运输辊(1、1')进一步含有改性表面(4)并提供所述衬底(3)的非均匀接触,其中所述改性表面(4)含有用于接触所述衬底(3)的接触区域(5、5'、5”、5”')及不接触所述衬底的所述接触区域(5、5'、5”、5”')之间的凹部(6、6'、6”、6”'),其中所述改性表面(4)经调适以在使用所述运输辊(1、1')运输时在所述运输辊(1、1')的两个侧上提供液体或气体交换;其中所述改性表面(4)由基本上均质的材料组成,所述基本上均质的材料包括聚合物或金属,其中所述基本上均质的材料不由纤维材料或发泡体形成,以及

其中每一凹部(6、6'、6”、6”')提供表面,且在横截面中在每一凹部(6、6'、6”、6”')的所述表面与接触线或接触圆圈之间围封区域,且其中沿着所述运输辊(1、1')的轴的横截面中的所述区域是至多5mm2,垂直于所述运输辊(1、1')的所述轴的横截面中的所述区域是至多12mm2,或两者,总计达对应横截面中的所述凹部(6、6'、6”、6”')的所有区域的总和的至少90%。

2.根据权利要求1所述的运输辊(1、1'),其中所述改性表面(4)提供线形凹部(6、6'、6”、6”')。

3.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的运输辊(1、1'),其中基于对应横截面中的所述接触区域的数目,所述改性表面(4)的所述接触区域(5、5'、5”、5”')的至少90%在沿着所述运输辊(1、1')的所述轴的所述横截面中具有至多1.3cm的长度;在垂直于所述运输辊(1、1')的所述轴的所述横截面中具有至多0.8cm的长度,或两者。

4.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的运输辊(1、1'),其中所述改性表面(4)沿着所述接触线每cm、沿着所述接触圆圈每cm或这两者含有至少一个接触区域(5、5'、5”、5”')。

5.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的运输辊(1、1'),其中邻近接触区域具有至多7mm的距离,且

其中邻近凹部(6、6'、6”、6”')具有至多6mm的距离。

6.一种含有运输辊的水平运输系统,其中至少一个运输辊是根据权利要求1到5中任一权利要求所述的运输辊(1、1')。

7.根据权利要求6所述的水平运输系统,其中根据权利要求1到5中任一权利要求所述的至少两个运输辊(1、1')布置为保持辊对。

8.一种用于湿处理的处理装置,其中所述处理装置含有根据权利要求1到5中任一权利要求所述的至少一个运输辊(1、1')或根据权利要求6到7中任一权利要求所述的至少一个水平运输系统。

9.一种用于处理衬底(3)的方法,其中所述方法含有以下步骤:使用根据权利要求1到5中任一权利要求所述的运输辊(1、1')、根据权利要求6到7中任一权利要求所述的水平运输系统或根据权利要求8所述的处理装置运输所述衬底(3)。

10.一种根据权利要求1到5中任一权利要求所述的运输辊(1、1')用于水平运输衬底(3)的用途。

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