[发明专利]利用频谱射频分析的处理腔室硬件错误检测

权利要求书

1.一种将错误指派至处理腔室的方法，包含：

将射频(RF)信号施加至处理腔室，以在所述腔室中激发共振；

测量在所述腔室中的所施加的RF信号的共振；

从所测量的共振提取指纹；

将所提取的指纹与指纹库作比较，各个库指纹与处理腔室错误相关联；

将相似性指数指派至所提取的指纹与在所述指纹库中的至少一个库指纹的结合，以形成多个相似性指数；

将各个相似性指数与临界值作比较；

如果所述相似性指数大于临界值，则使用所相关联的库指纹将错误指派至所述处理腔室，

其中通过以下步骤对单一处理腔室错误配置的库指纹建立临界值：

为多个处理腔室和多个测量的单一错误配置收集指纹；

为相同错误配置的所收集的指纹的不同配对计算相似性指数；以及

选择所计算的相似性指数的最小值作为所述错误配置的所述临界值。

2.如权利要求1所述的方法，其中，指派相似性指数包含为多个库指纹指派相似性指数，并且其中比较包含将所述相似性指数中的每一个与所述临界值作比较，所述方法进一步包含基于所述相似性指数的值，对所述库指纹排序。

3.如权利要求2所述的方法，其中，指派包含为所排序的库指纹中的每一个指派错误，所述方法进一步包含基于所述排序，将优先权指派至所指派的错误中的每一个。

4.如权利要求1所述的方法，进一步包含拒绝所述相似性指数低于所述临界值的任何库指纹。

5.如权利要求1所述的方法，其中，使用以不同错误施加至不同腔室的受控的实验来收集所述指纹库。

6.如权利要求1所述的方法，其中，所述处理腔室错误包含以下中的至少一个：缺少硬件部件、硬件部件的尺寸以及耗损的硬件部件。

7.如权利要求1所述的方法，其中，指派相似性指数包含确定测量的阻抗的关联系数和测量的相位的关联系数，并且结合所述关联系数。

8.如权利要求7所述的方法，其中，结合所述关联系数包含将所述关联系数的平方值相加。

9.如权利要求1所述的方法，其中，施加RF信号包含施加扫描过频带的RF扫描信号，并且其中测量包含测量整个所述频带。

10.如权利要求9所述的方法，其中，提取指纹包含在所述频带上提取阻抗和相位的形状和大小。

11.如权利要求10所述的方法，进一步包含将所述形状和大小转换成在所述频带中对多个频率中的每一个的两行和一列的矩阵。

12.如权利要求1所述的方法，其中，所述共振包含阻抗共振。

13.一种用于将错误指派至处理腔室的系统，包含：

网络分析器，用于将射频(RF)信号施加至处理腔室，以在所述腔室中激发共振，并且用于测量在所述腔室中的所施加的RF信号的共振；以及

控制器，用于从所测量的共振提取指纹；用于将所提取的指纹与指纹库作比较，各个库指纹与处理腔室错误相关联；用于将相似性指数指派至所提取的指纹与在所述指纹库中的至少一个库指纹的结合，以形成多个相似性指数；用于将各个相似性指数与临界值作比较；并且如果所述相似性指数大于临界值，则用于使用所相关联的库指纹将错误指派至所述处理腔室，

其中通过以下步骤对单一处理腔室错误配置的库指纹建立临界值：

为多个处理腔室和多个测量的单一错误配置收集指纹；

为相同错误配置的所收集的指纹的不同配对计算相似性指数；以及

选择所计算的相似性指数的最小值作为所述错误配置的所述临界值。

14.如权利要求13所述的系统，其中，指派相似性指数包含确定测量的阻抗的关联系数和测量的相位的关联系数，并且结合所述关联系数。