[发明专利]太阳能电池元件及太阳能电池元件的制造方法

说明书

太阳能电池元件具备半导体基板、钝化层、保护层以及背面电极。半导体基板具有第1表面以及朝向与该第1表面相反的方向的第2表面。钝化层位于第2表面上。保护层位于钝化层上。背面电极位于保护层上。背面电极经由将保护层以及钝化层贯通的一个以上的孔部与半导体基板电连接。保护层具有第1区域以及处于包围该第1区域的位置的第2区域，该第1区域表现出厚度随着远离孔部的内缘部而增加的倾向。离第1区域的内缘部最远的位置与内缘部之间的距离大于第2区域的厚度。背面电极在第1区域上表现出厚度随着远离内缘部而减少的倾向。

技术领域

本公开涉及太阳能电池元件及太阳能电池元件的制造方法。

背景技术

在太阳能电池元件中有PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)型的太阳能电池元件(例如，参照JP特开2011-97005号公报、JP特开2011-100973号公报、JP特表2010-527146号公报、JP特开2004-64028号公报以及JP特开2013-4831号公报的记载)。PERC型的太阳能电池元件具有在晶体硅基板的背面上将钝化层、保护层、背面电极按照该记载顺序层叠的结构。在此，背面电极经由贯通钝化层和保护层的接触孔与晶体硅基板的背面电连接。

发明内容

公开太阳能电池元件以及太阳能电池元件的制造方法。

太阳能电池元件的一方案具备半导体基板、钝化层、保护层和背面电极。所述半导体基板具有第1表面以及朝向与该第1表面相反的方向的第2表面。所述钝化层位于所述第2表面上。所述保护层位于所述钝化层上。所述背面电极位于所述保护层上。所述背面电极经由将所述保护层以及所述钝化层贯通的一个以上的孔部与所述半导体基板电连接。所述保护层具有第1区域以及处于包围该第1区域的位置的第2区域，该第1区域表现出厚度随着远离所述孔部的内缘部而增加的倾向。所述第1区域当中的离所述内缘部最远的位置与所述内缘部的距离大于所述第2区域的厚度。所述背面电极在所述第1区域上表现出厚度随着远离所述内缘部而减少的倾向。

太阳能电池元件的制造方法的一方案具有：准备半导体基板；形成钝化层；形成保护层；以及形成背面电极。所述半导体基板具有第1表面以及朝向与该第1表面相反的方向的第2表面。形成所述钝化层包含：在所述第2表面上形成所述钝化层。形成所述保护层包含：涂布溶液使得在所述钝化层上形成包含孔部的图案，并使该溶液干燥，从而形成所述保护层。所述保护层具有厚度变化区域，该厚度变化区域表现出厚度随着远离所述孔部的内缘部而增加的倾向。形成所述背面电极包含：在所述保护层上以及所述孔部内配置电极形成用的材料并对该电极形成用的材料进行加热来形成所述背面电极。所述背面电极具有位于所述保护层上的电极层以及连接部，该连接部以从所述保护层的所述孔部内贯通所述钝化层的方式存在且与所述半导体基板电连接。

附图说明

图1是表示第1实施方式涉及的太阳能电池元件的一例的第1元件表面侧的外观的俯视图。

图2是表示第1实施方式涉及的太阳能电池元件的一例的第2元件表面侧的外观的俯视图。

图3是表示沿图1以及图2的III-III线的太阳能电池元件的切断面的一例的端面图。

图4是表示图2的区域IV的一例的外观的放大俯视图。

图5是表示沿图4的V-V线的太阳能电池元件的切断面的一部分的一例的截面图。

图6是表示在参考例涉及的背面电极产生的应力分布的截面图。

图7是表示参考例涉及的背面电极中的裂缝的产生的一例的截面图。

图8是表示在孔部周边的背面电极产生的应力分布的截面图。

图9是表示沿图4的IX-IX线的太阳能电池元件的切断面的一部分的一例的截面图。