[发明专利]太阳能电池元件及太阳能电池元件的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池元件，具备：

半导体基板，具有第1表面以及朝向与该第1表面相反的方向的第2表面；

钝化层，位于所述第2表面上；

保护层，位于该钝化层上；以及

背面电极，位于该保护层上，

该背面电极经由将所述保护层以及所述钝化层贯通的一个以上的孔部与所述半导体基板电连接，

所述保护层具有第1区域以及处于包围该第1区域的位置的第2区域，该第1区域表现出厚度随着远离所述孔部的内缘部而增加的倾向，

所述第1区域当中的离所述内缘部最远的位置与所述内缘部的距离大于所述第2区域的厚度，

所述背面电极在所述第1区域上表现出厚度随着远离所述内缘部而减少的倾向。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池元件，其中，

在俯视透视所述保护层的情况下，所述内缘部具有凹凸部。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池元件，其中，

所述一个以上的孔部包含相邻的第1孔部以及第2孔部，

位于所述第1孔部的周围的所述第1区域当中的离所述内缘部最远的位置与所述内缘部的距离小于所述第1孔部与所述第2孔部之间的距离的一半。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的太阳能电池元件，其中，

所述钝化层包含存在于与所述半导体基板相接的位置的第1钝化层和存在于与所述保护层相接的位置的第2钝化层，

所述第2钝化层和所述保护层含有相同的主成分。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的太阳能电池元件，其中，

所述保护层含有氯。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池元件，其中，

在所述保护层中位于所述背面电极侧的部位的氯浓度高于位于所述钝化层侧的部位的氯浓度。

7.根据权利要求5或6所述的太阳能电池元件，其中，

所述钝化层包含氯。

8.一种太阳能电池元件的制造方法，具有：

准备具有第1表面以及朝向与该第1表面相反的方向的第2表面的半导体基板；

在所述第2表面上形成钝化层；

通过在所述钝化层上涂布溶液以形成包含孔部的图案并使该溶液干燥，从而形成具有厚度变化区域的保护层，该厚度变化区域表现出厚度随着远离所述孔部的内缘部而增加的倾向；以及

通过在所述保护层上以及所述孔部内配置电极形成用的材料并对该电极形成用的材料进行加热，从而形成背面电极，其中，该背面电极具有位于所述保护层上的电极层和连接部，该连接部以从所述保护层的所述孔部内贯通所述钝化层的方式存在且与所述半导体基板电连接。