[发明专利]可调式圆周静电夹盘

权利要求书

1.一种静电夹盘系统，包括：

扫描臂基座

中央静电夹盘构件，其第一直径与第一工件的直径相关联，其中，所述中央静电夹盘构件可操作地耦接至所述扫描臂基座并且其第一表面配置成支撑并静电夹持所述第一工件；

第一外围静电夹盘构件，其具有第一内径和第一外径，其中，所述第一外围静电夹盘构件可操作地耦接至所述扫描臂基座并且其第二表面配置成支撑第二工件的外围区域，其中，所述第二工件的直径大于所述第一工件的直径；

升降器，其配置成使所述第一外围静电夹盘构件相对于所述中央静电夹盘构件沿着大致垂直于所述第一表面的轴线在缩回位置与伸出位置之间直移，其中，当所述第一外围静电夹盘构件处于所述缩回位置时，所述第一表面凸出于所述第二表面，且其中，当所述第一外围静电夹盘构件处于所述伸出位置时，所述第一表面与所述第二表面大致共面；以及

第一外围屏蔽，其配置成当所述第一外围静电夹盘构件处于所述缩回位置时驻留在所述第二表面上并屏蔽所述第二表面。

2.根据权利要求1所述的静电夹盘系统，其中，所述中央静电夹盘相对于所述基座固定，且其中，所述升降器配置成使所述第一外围静电夹盘构件在所述缩回位置与所述伸出位置之间直移。

3.根据权利要求1所述的静电夹盘系统，进一步包括：

第二外围静电夹盘构件，其具有第二内径和第二外径，其中，所述第二外围静电夹盘构件可操作地耦接至所述扫描臂基座并且其第三表面配置成支撑第三工件的外围区域，其中，所述第三工件的直径大于所述第二工件的直径，且其中，所述升降器进一步配置成使所述第二外围静电夹盘构件相对于所述中央静电夹盘构件在所述缩回位置与伸出位置之间直移，其中，当所述第二外围静电夹盘构件处于所述缩回位置，所述第一表面凸出于所述第三表面，且其中，当所述第二外围静电夹盘构件处于所述伸出位置时，所述第一表面与所述第三表面大致共面；以及

第二外围屏蔽，其配置成当所述第一外围静电夹盘构件处于所述伸出位置并且所述第二外围静电夹盘构件处于所述缩回位置时驻留在所述第三表面上并屏蔽所述第三表面。

4.根据权利要求3所述的静电夹盘系统，进一步包括控制器，其配置成经由控制所述升降器而单独控制所述第一外围静电夹盘构件和所述第二外围静电夹盘构件在相应的缩回位置与伸出位置之间直移。

5.根据权利要求4所述的静电夹盘系统，进一步包括电源，其可操作地耦接至所述中央静电夹盘构件、所述第一外围静电夹盘构件和所述第二外围静电夹盘构件，且其中，所述控制器配置成经由控制所述电源而选择性激励所述中央静电夹盘构件、所述第一外围静电夹盘构件和所述第二外围静电夹盘构件。

6.根据权利要求5所述的静电夹盘系统，其中，所述控制器配置成仅激励所述中央静电夹盘构件以静电夹持所述第一工件，同时激励所述中央静电夹盘构件和所述第一外围静电夹盘构件以静电夹持所述第二工件，同时激励所述中央静电夹盘构件、所述第一外围静电夹盘构件和所述第二外围静电夹盘构件以静电夹持所述第三工件。

7.根据权利要求3所述的静电夹盘系统，其中，所述第一外围屏蔽进一步配置成当所述第一外围静电夹盘构件和所述第二外围静电夹盘构件处于所述缩回位置时驻留在所述第三表面上并屏蔽所述第三表面。

8.根据权利要求7所述的静电夹盘系统，其中，所述第二外围屏蔽包括由半导体材料组成的表面。

9.根据权利要求7所述的静电夹盘系统，其中，所述第二外围屏蔽由半导体材料组成。

10.根据权利要求1所述的静电夹盘系统，进一步包括控制器，其配置成经由控制所述升降器而控制所述第一外围静电夹盘构件的缩回位置和伸出位置。

11.根据权利要求10所述的静电夹盘系统，进一步包括电源，其可操作地耦接至所述中央静电夹盘构件和所述第一外围静电夹盘构件，其中，所述控制器配置成同时激励所述中央静电夹盘构件和所述第一外围静电夹盘构件。