[发明专利]陀螺传感器和电子设备

权利要求书

1.一种陀螺传感器，包括：

环状的框架，包括主表面；

驱动部，用于致使所述框架在平行于所述主表面的平面内振动；

第一检测部，用于基于所述框架在所述主表面中的变形量，检测围绕与所述主表面正交的第一轴的角速度；

多个振子部，与所述框架的振动同步地振动；

第二检测部，被设置在一位置上，所述位置是在产生了围绕与所述第一轴正交的第二轴的角速度的情形中成为所述主表面上的振动模式的波节的位置，所述第二检测部检测围绕分别与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴的角速度；以及

第三检测部，被设置在一位置上，所述位置是在产生了围绕所述第三轴的角速度的情形中成为所述主表面上的振动模式的波节的位置，所述第三检测部检测围绕所述第二轴的角速度。

2.根据权利要求1所述的陀螺传感器，其中

所述框架包括一对第一梁、一对第二梁以及连接在所述第一梁和所述第二梁之间的多个连接部，所述一对第一梁在所述第二轴的方向上延伸并且在所述第三轴的方向上彼此面对，所述一对第二梁在所述第三轴的方向上延伸并且在所述第二轴的方向上彼此面对，

所述驱动部致使所述框架以一振动模式在平行于所述主表面的平面内振动，在所述振动模式中，当所述一对第一梁和所述一对第二梁之中的一对梁彼此接近的时候所述一对第一梁和所述一对第二梁之中的另一对梁彼此分离，并且当所述一对第一梁和所述一对第二梁之中的所述一对梁彼此分离的时候，所述一对第一梁和所述一对第二梁之中的另一对梁彼此接近，

所述多个振子部包括分别由所述多个连接部支撑的一个端部，

所述第二检测部包括一对压电元件，所述一对压电元件分别布置在所述第二梁的长度方向上的中央部，以及

所述第三检测部包括一对压电元件，所述一对压电元件分别布置在所述第一梁的长度方向上的中央部。

3.根据权利要求2所述的陀螺传感器，其中

所述多个振子部包括

一对第一振子部，在第四轴的方向上彼此面对，所述第四轴在平行于所述主表面的平面内与所述第二轴的方向和所述第三轴的方向交叉，以及

一对第二振子部，在第五轴的方向上彼此面对，所述第五轴与在平行于所述主表面的平面内的所述第三轴的方向和所述第四轴的方向交叉。

4.根据权利要求2所述的陀螺传感器，其中

所述第二检测部中包括的一对压电元件被布置在所述第二梁的宽度方向上的中心处，并且具有沿着所述第二梁以直线方式延伸的条带形状。

5.据权利要求2所述的陀螺传感器，其中

所述第三检测部中包括的一对压电元件被布置在所述第一梁的宽度方向上的中心处，并且具有沿所述第一梁以直线方式延伸的条带形状。

6.根据权利要求2所述的陀螺传感器，还包括：

控制器，所述控制器基于来自所述第二检测部中包括的一对压电元件的输出之间的差值来检测围绕所述第三轴的角速度，并且基于来自所述第三检测部中包括的一对压电元件的输出之间的差值来检测围绕所述第二轴的角速度。

7.一种电子设备，包括：

环状的框架，包括主表面；

驱动部，用于致使所述框架在平行于所述主表面的平面内振动；

第一检测部，用于基于所述框架在所述主表面中的变形量，检测围绕与所述主表面正交的第一轴的角速度；

多个振子部，与所述框架的振动同步地振动；

第二检测部，被设置在一位置上，所述位置是在产生了围绕与所述第一轴正交的第二轴的角速度的情形中成为所述主表面上的振动模式的波节的位置，所述第二检测部检测围绕分别与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴的角速度；以及

第三检测部，被设置在一位置上，所述位置是在产生了围绕所述第三轴的角速度的情形中成为所述主表面上的振动模式的波节的位置，所述第三检测部检测围绕所述第二轴的角速度。