[发明专利]离子源以及离子注入装置

权利要求书

1.一种离子源，用于生成离子束，其特征在于，

具有离子生成容器，所述离子生成容器令经由筒状的气体导入管被导入到容器内的离子化气体与被释放到该容器内的离子原料反应而生成离子，

所述气体导入管构成为通过气体供给管向该气体导入管的内部空间导入所述离子化气体，并且

在所述气体导入管的内部空间中设置有拆装自如的冷却捕集构件，所述冷却捕集构件具有冷却捕集部，所述冷却捕集部冷却并捕集在所述离子生成容器内生成的中间生成物，

所述冷却捕集部在所述气体导入管的内部空间的所述气体供给管的供给侧末端部的附近以不与该气体导入管的内壁面接触的方式配置。

2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

所述冷却捕集构件中，所述冷却捕集部具有在所述气体导入管的内部空间中配置在比所述气体供给管的供给侧末端部靠所述离子生成容器侧的部分。

3.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，

所述冷却捕集构件中，所述冷却捕集部在所述气体导入管的内部空间中配置在相对于所述气体供给管的供给侧末端部从所述离子生成容器离开的方向侧。

4.根据权利要求1至3的任一项所述的离子源，其特征在于，

所述冷却捕集构件通过螺纹固定而拆装自如地固定于所述气体导入管的从所述离子生成容器离开的方向侧的端部。

5.根据权利要求1至3的任一项所述的离子源，其特征在于，

所述冷却捕集构件的棒状的冷却捕集部在顶部设置有平面状的捕集面。

6.根据权利要求1至3的任一项所述的离子源，其特征在于，

所述冷却捕集构件的冷却捕集部在棒状的部分的中间部具有槽状的退避部，突出到所述气体导入管的内部空间中的所述气体供给管的供给侧末端部配置为进入所述退避部的槽内而隐藏在该槽的所述离子生成容器侧的侧部的背后。

7.根据权利要求1至3的任一项所述的离子源，其特征在于，

所述离子化气体是氟类气体，所述离子是从氮化铝得到的铝离子。

8.一种离子注入装置，是用于向基板照射离子束而进行注入的离子注入装置，其特征在于，

具有离子源，该离子源具有离子生成容器，所述离子生成容器令经由筒状的气体导入管被导入到容器内的离子化气体与被释放到该容器内的离子原料反应而生成离子，所述气体导入管构成为通过气体供给管向该气体导入管的内部空间导入所述离子化气体，并且在所述气体导入管的内部空间中设置有拆装自如的冷却捕集构件，所述冷却捕集构件具有冷却捕集部，所述冷却捕集部冷却并捕集在所述离子生成容器内生成的中间生成物，所述冷却捕集部在所述气体导入管的内部空间的所述气体供给管的供给侧末端部的附近以不与该气体导入管的内壁面接触的方式配置，

通过向基板照射从该离子源释放的离子束而进行注入。