[发明专利]树脂组合物

权利要求书

1.树脂组合物，其特征在于，所述树脂组合物含有(a)碱溶性树脂，所述(a)碱溶性树脂包含具有交联性基团的酚骨架和不具有交联性基团的酚骨架、并且重均分子量在1,000～50,000的范围内，其中，

在所述具有交联性基团的酚骨架和所述不具有交联性基团的酚骨架的结构单元的合计100摩尔％中，所述具有交联性基团的酚骨架所占的比率在5～90摩尔％的范围内，并且，

所述(a)碱溶性树脂具有通式(1)表示的结构，

通式(1)中，R¹表示氢原子、具有卤原子、硝基、氰基、脂肪族基团、芳香族基团、乙酰基、酯基、酰胺基、酰亚胺基、脲基、或硫脲基中的任一者的有机基团；X表示下述通式(4)表示的有机基团；R¹及X具有氢原子的情况下，该氢原子可被卤原子、硝基及氰基中的任一者取代；Y表示交联性基团；a及b为1以上的整数，a+b≥6；a与b的结构单元的排列为嵌段式或无规式；m、n¹、及n²为1～3的范围内的整数；q为0～3的范围内的整数，

通式(4)中，R⁷、R⁸、R⁹及R¹⁰各自独立地表示氢原子、烷基、氟烷基、烷基醚基、或硅氧烷基；Z是单键、或者由醚键、羰基、酰胺基或磺酰基中的任一者表示的二价基团，

所述通式(1)中的a及b满足ab的关系、以及5≤{b/(a+b)}×100≤30的关系。

2.如权利要求1所述的树脂组合物，其中，所述通式(1)中的Y为下述通式(2)表示的有机基团，

-CH₂OR² (2)

通式(2)中，R²为氢原子、脂肪族基团、或芳香族基团。

3.如权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，所述通式(1)中的n¹为2或3。

4.如权利要求1或2所述的树脂组合物，所述树脂组合物还含有(b)碱溶性树脂，所述(b)碱溶性树脂选自聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑前体、聚苯并噁唑中的一种以上，并且，

相对于所述(a)碱溶性树脂100质量份，所述(b)碱溶性树脂的含量在1～1000质量份的范围内。

5.如权利要求4所述的树脂组合物，其中，所述(b)碱溶性树脂具有选自烷基、氟烷基、烷基醚基、及硅氧烷基中的一种以上的有机基团。

6.如权利要求5所述的树脂组合物，其中，所述(b)碱溶性树脂具有含烷基醚基的二胺残基。

7.如权利要求1或2所述的树脂组合物，所述树脂组合物还含有(c)感光剂和(d)交联剂。

8.如权利要求1所述的树脂组合物，其中，所述通式(1)中的Y为具有丙烯酸结构的有机基团。

9.树脂片材，其是由权利要求1～8中任一项所述的树脂组合物形成的。

10.固化膜，其是将权利要求1～8中任一项所述的树脂组合物固化而得到的。

11.固化膜，其是将权利要求9所述的树脂片材固化而得到的。

12.固化膜的浮凸图案的制造方法，其包括下述工序：

将权利要求1～8中任一项所述的树脂组合物涂布于基板上、或将权利要求9所述的树脂片材层压于基板上，进行干燥而形成树脂膜的工序；

隔着掩模进行曝光的工序；

使用碱性溶液将照射部溶出或除去而进行显影的工序；及

对显影后的树脂膜进行加热处理的工序。