[发明专利]具有高刚度基材的反射光学元件

权利要求书

1.一种光学元件，其包含：

基底基材，所述基底基材包含非氧化物陶瓷；以及

石墨层，所述石墨层与所述基底基材直接或间接接触。

2.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述非氧化物陶瓷包含碳化物。

3.如权利要求2所述的光学元件，其特征在于，所述碳化物包含碳化硼或碳化硅。

4.如权利要求1或2所述的光学元件，其特征在于，所述非氧化物陶瓷具有至少4.0×10⁸lb_f-in/lb_m的比刚度。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光学元件，其特征在于，所述石墨层包含金刚石车削表面。

6.如权利要求1～5中任一项所述的光学元件，其特征在于，所述石墨层包含小于的rms表面粗糙度。

7.如权利要求1～6中任一项所述的光学元件，其特征在于，还包含金属化层。

8.如权利要求7所述的光学元件，其特征在于，所述金属化层与所述石墨层直接接触。

9.如权利要求7所述的光学元件，其特征在于，所述金属化层包含Si。

10.如权利要求1～9中任一项所述的光学元件，其特征在于，还包含焊料层。

11.如权利要求10所述的光学元件，其特征在于，所述焊料层包含Ti或稀土元素。

12.如权利要求10或11所述的光学元件，其特征在于，所述焊料层具有低于225℃的熔点。

13.如权利要求10～12中任一项所述的光学元件，其特征在于，所述焊料层与所述基底基材直接接触。

14.如权利要求10～13中任一项所述的光学元件，其特征在于，还包含与所述石墨层直接接触的第一金属化层。

15.如权利要求14所述的光学元件，其特征在于，所述焊料层与所述第一金属化层直接接触。

16.如权利要求14或15所述的光学元件，其特征在于，还包含与所述基底基材直接接触的第二金属化层。

17.如权利要求16所述的光学元件，其特征在于，所述焊料层与所述第二金属化层直接接触。

18.如权利要求1～17中任一项所述的光学元件，其特征在于，还包含与所述石墨层直接接触的金属层。

19.如权利要求18所述的光学元件，其特征在于，所述金属层具有金刚石车削表面。

20.如权利要求1～19中任一项所述的光学元件，其特征在于，还包含位于所述石墨层与所述基底基材之间的有机粘合剂层。

21.如权利要求1～20中任一项所述的光学元件，其特征在于，还包含位于所述石墨层上的反射层。

22.一种制造光学元件的方法，所述方法包括：

将精整层组装件接合至基底基材组装件，所述精整层组装件包含石墨层，所述基底基材组装件包含基底基材，所述基底基材包含非氧化物陶瓷。

23.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述非氧化物陶瓷是碳化物。