[发明专利]磁记录介质及其制造方法

说明书

使用种子层提供具有包含适合于垂直磁记录的有序合金的磁记录层的垂直磁记录介质。或者，在确保必要的热稳定性的同时提高记录密度。或者，兼顾磁性层的增厚和粒径的微细化。是一种磁记录介质，其特征在于依次包括基板、第1种子层、含有ZnO的第2种子层、含有MgO的第3种子层、和含有有序合金的磁记录层，且所述第1种子层含有Ru、和选自由氧化物、碳化物及氮化物组成的组中的至少一种。

技术领域

本发明涉及磁记录介质。典型地，本发明涉及被用于硬盘磁记录装置(HDD)的磁记录介质。

背景技术

垂直磁记录方式被用作实现磁记录的高密度化的技术。垂直磁记录介质至少包括非磁性基板和由硬磁材料形成的磁记录层。可选的，垂直磁记录介质由软磁性材料形成，并可进一步含有软磁背衬层，以起到使磁头产生的磁通量集中于磁记录层上的作用。可选地，垂直磁记录介质也可进一步包括用于使磁记录层的硬磁性材料沿目标方向取向的底层和用于保护磁记录层表面的保护层等。

为获得良好的磁特性，已有提出使用粒状磁性材料形成垂直磁记录介质的磁记录层。粒状磁性材料包含磁晶粒、和偏析后围绕在磁晶粒周围的非磁性材料。粒状磁性材料中的各个磁晶粒由非磁性材料进行磁分离。

近年，为了进一步提高垂直磁记录介质的记录密度，迫切需要缩小粒状磁性材料中的磁晶粒的粒径。另一方面，磁晶粒的粒径的缩小会使所记录的磁化(信号)的热稳定性降低。为了补偿由于磁晶粒的粒径的缩小导致的热稳定性的降低，要求通过使用具有更高的磁晶各向异性的材料来形成粒状磁性材料中的磁晶粒。L1₀型有序合金被提出作为所要求的具有更高的磁晶各向异性的材料。代表性的L1₀型有序合金包含FePt、CoPt、FePd、CoPd等。

在具有包含现有技术的类无序磁性合金的磁记录层的垂直磁记录介质中，经常使用由Ru或Ru合金制成的种子层。该种子层具有(002)取向的六方最密堆积(hcp)结构。这是为了使磁记录层中的CoCrPt类无序磁性合金的易磁化轴垂直取向。例如，日本专利特开2012-195027号公报(专利文献1)及日本专利特开2013-54819号公报(专利文献2)提出具有含有Ru的种子层、和含有CoCrPt类无序磁性合金的磁记录层的离散磁记录介质及图案化磁记录介质。在该提案中，种子层是Ru层和Ru合金层的层叠体。进一步，作为比较对照例公开的种子层是Ru层单层种子层、Ru层、和具有包含Ru及氧化物的粒状结构的含Ru层的层叠体。此外，日本专利特开2015-135713号公报(专利文献3)提出了离散磁记录介质和图案化的磁记录介质，具有在金属氧化物柱中被分割成多个部分的、由Ru制成的种子层和包含CoCrPt类无序磁性合金的磁记录层。

然而，在形成包含L1₀型有序合金的磁记录层的情况下，曾被认为难以使用由具有(002)取向的hcp结构的Ru所制成的种子层。原因是四方对称的正方形的L1₀型有序合金的(001)面被认为不会在六方对称的hcp结构的(002)面之上外延生长。

针对该问题，日本专利特开2012-014750号公报(专利文献4)提出在由具有(110)取向的hcp结构的Ru或Ru合金所制成的种子层上形成由(001)取向的L1₀型有序合金制成的磁记录层的磁记录介质。此外，日本专利特开2006-19000公告(专利文献5)提出了一种有望提高磁记录密度的倾斜磁记录介质的制造方法，提出在具有(100)取向的hcp结构的包含Ru、Re或Os的种子层上形成由(111)取向的L1₀型有序合金制成的磁记录层的磁记录介质。

然而，在Ru等金属单质或合金的种子层上形成由有序合金制成的磁记录的情况下，为使有序合金有序化，需通过必要的加热处理凝集Ru等金属单质或合金的种子层的晶粒。为此，在有序合金中存在不能同时实现高有序度和良好的粒状结构的问题。

现有技术文献

专利文献