[发明专利]磁记录介质及其制造方法

权利要求书

1.一种磁记录介质，其特征在于，

依次包括基板、第1种子层、含有70wt％以上的ZnO的第2种子层、含有MgO的第3种子层、和含有有序合金的磁记录层，且所述第1种子层含有Ru、和选自由氧化物、碳化物及氮化物组成的组中的至少一种。

2.如权利要求1所述的磁记录介质，其特征在于，

所述第1种子层含有Ru、和TiO_m或SiO_n，其中，所述m＝1.5～2.5，所述n＝1.5～2.5。

3.如权利要求1所述的磁记录介质，其特征在于，

在所述第1种子层和第2种子层之间还包含非磁性中间层，所述非磁性中间层含有Pt、和选自由氧化物、碳、碳化物及氮化物组成的组中的至少一种。

4.如权利要求3所述的磁记录介质，其特征在于，

所述非磁性中间层含有Pt、以及TiO_m或C，其中，所述m＝1.5～2.5。

5.如权利要求1所述的磁记录介质，其特征在于，

在所述第1种子层和所述第2种子层之间还包含非磁性中间层，所述非磁性中间层由Pt组成，且所述非磁性中间层具有0.1～3.0nm的膜厚。

6.如权利要求1所述的磁记录介质，其特征在于，

在所述基板和所述第1种子层之间还包含由Ru或Ru合金形成的取向控制层。

7.如权利要求1所述的磁记录介质，其特征在于，

所述有序合金是含有选自Fe及Co中的至少一种元素、和选自由Pt、Pd、Au、Ir、及Rh组成的组中的至少一种元素的L1₀型有序合金。

8.如权利要求7所述的磁记录介质，其特征在于，

所述有序合金还含有选自由Ni、Mn、Cu、Ru、Ag、Au、及Cr组成的组中的至少一种元素。

9.如权利要求7所述的磁记录介质，其特征在于，

所述有序合金是选自由FePt、CoPt、FePd、及CoPd组成的组的L1₀型序合金。

10.如权利要求1所述的磁记录介质，其特征在于，

所述磁记录层具有包含磁晶粒、和包围所述磁晶粒的非磁性晶粒边界的粒状结构，且所述磁晶粒含有所述有序合金。

11.一种制造磁记录介质的方法，所述方法包括：

准备基板的工序；

在所述基板上形成第1种子层的工序，并且所述第1种子层含有Ru、和选自由氧化物、碳化物及氮化物组成的组中的至少一种；

在所述第1种子层上形成含有70wt％以上的ZnO的第2种子层的工序；

在所述第2种子层上形成含有MgO的第3种子层的工序；以及

在所述第3种子层上形成含有有序合金的磁记录层的工序，

在形成所述磁记录层时，在300℃～600℃的范围内加热所述基板。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，

所述第1种子层含有Ru、以及TiO_m或SiO_n，其中，所述m＝1.5～2.5，所述n＝1.5～2.5。

13.如权利要求11所述的方法，其特征在于，

还包括在所述第1种子层和所述第2种子层之间形成非磁性中间层的工序，所述非磁性中间层含有Pt、和选自由氧化物、碳、碳化物及氮化物组成的组中的至少一种。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于所述非磁性中间层含有Pt、和TiO_m或C，其中，所述m＝1.5～2.5。