[实用新型]一种可改变硅片进出方向的硅片盒有效

专利信息
申请号: 201721855114.X 申请日: 2017-12-26
公开(公告)号: CN207883666U 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 金重玄 申请(专利权)人: 杭州大和热磁电子有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 尉伟敏;方琦
地址: 310053 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 片板 硅片 活动式装 硅片盒 装片 固定式装 底板 本实用新型 可改变 盖板 硅片切割 进出通道 开口方向 相邻设置 旋转开启 旋转轴线 水平状 折叠 插设 围合 加工
【权利要求书】:

1.一种可改变硅片进出方向的硅片盒,用于硅片(1)的转向控制,其特征在于:所述硅片盒包括平行设置的底板(2)和盖板(3)、置于底板和盖板之间且垂直于底板内表面的装片板,所述装片板为四件,包括两件固定式装片板(4)和两件活动式装片板(5),所述两件固定式装片板呈90°相邻设置,固定式装片板的底部固置于所述底板的内表面上,固定式装片板的顶部固置于所述盖板的内表面上,活动式装片板以其自身一侧的轴线为旋转轴线,所述旋转轴线位于固定装片板的远端位,折叠位的活动式装片板贴近对应的固定式装片板背面,打开位的活动式装片板则与对应的固定式装片板呈90°相邻设置,两两对应的四件装片板分别对应且围合硅片盒的四个开口方向,装片板上设有上下排布的水平状沟槽(6),四个装片板上的相应沟槽形成水平状的硅片容置槽,所述硅片插设于所述硅片容置槽内且搁置于所述沟槽上。

2.根据权利要求1所述的一种可改变硅片进出方向的硅片盒,其特征在于:所述固定式装片板(4)的远端侧边中部设有铰链(7),所述铰链的一个页板与上述固定式装片板固接,与上述固定式装片板对应的活动式装片板(5)则与铰链的另一页板固接,上述活动式装片板以铰链中心线为旋转轴线。

3.根据权利要求1所述的一种可改变硅片进出方向的硅片盒,其特征在于:所述固定式装片板(4)的远端设有垂直于所述底板内表面的转轴(8),所述转轴底端设于底板(2)内表面上,转轴顶端设于盖板(3)内表面上,所述活动式装片板(5)通过连接板与转轴固接且以转轴为旋转轴线。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种可改变硅片进出方向的硅片盒,其特征在于:所述底板(2)和盖板(3)上均设有对应的定位孔(9),所述定位孔分别对应所述活动式装片板(5)的折叠位和打开位,所述定位孔内嵌设有定位销。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州大和热磁电子有限公司,未经杭州大和热磁电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721855114.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top