[实用新型]一种基于真空镀膜机的同一水平面内外筒结合结构有效
| 申请号： | 201721696261.7 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN207775335U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王百江;王伟 | 申请（专利权）人： | 遵化市宝瑞钛金设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 陈书华 |
| 地址： | 063000 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外筒 密封口 内筒 真空镀膜机 法兰 同一水平面 反应气体 结合结构 抽气口 密封槽 内外筒 镀膜 加热 离子 密封圈 本实用新型 温度均匀性 均匀一致 连接固定 内筒顶部 镀膜区 加气管 上端面 蒸发源 插接 镀件 空腔 嵌装 上盖 上套 压盖 浇筑 气管 保证 | ||
1.一种基于真空镀膜机的同一水平面内外筒结合结构，包括外筒(2)和内筒(4)，内筒(4)安装在外筒(2)的空腔内；其特征在于：所述内筒(4)的底部与外筒(2)的底部平齐，内筒(4)的顶部浇筑有密封口(41)；所述密封口(41)上套接有密封圈A(42)和法兰A(43)；所述外筒(2)的顶部与内筒(4)顶部的连接处加工有密封槽(21)，密封槽(21)的内端口连接有法兰B(22)，密封槽(21)的外端口套接有密封圈B(23)；所述内筒(4)顶部的密封口(41)嵌装在外筒(2)的密封槽(21)内，且密封口(41)与密封槽(21)之间通过法兰A(43)和法兰B(22)连接固定；所述密封口(41)与密封槽(21)连接处还填充有密封圈A(42)进行密封；所述外筒(2)的上端面还压盖有上盖(3)，上盖(3)的下端面设置有与外筒(2)的密封槽(21)相匹配的槽口(31)，槽口(31)盖合在密封槽(21)的上方，并通过密封圈B(23)进行密封；所述上盖(3)的边缘处通过法兰连接件固定在外筒(2)的边缘处；所述外筒(2)的一侧还插接有加气管(1)，外筒(2)的另一侧设置有抽气口(5)。
2.根据权利要求1所述的一种基于真空镀膜机的同一水平面内外筒结合结构，其特征在于：所述内筒(4)顶部的密封口(41)与外筒(2)顶部的密封槽(21)处在同一个水平面上。
3.根据权利要求1所述的一种基于真空镀膜机的同一水平面内外筒结合结构，其特征在于：所述内筒(4)与外筒(2)空腔内的间隙为镀膜区(6)，镀膜区(6)通过密封口(41)与密封槽(21)以及槽口(31)实现密封。
4.根据权利要求1所述的一种基于真空镀膜机的同一水平面内外筒结合结构，其特征在于：所述加气管(1)和抽气口(5)均与外筒(2)的内腔相互贯通。
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