[实用新型]LED扩晶蓝膜存放装置有效
| 申请号: | 201721649858.6 | 申请日: | 2017-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN207068824U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
| 发明(设计)人: | 李超;谢俊;卢淑芬;黎兰兰 | 申请(专利权)人: | 旭宇光电(深圳)股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L33/00 |
| 代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司44414 | 代理人: | 张全文 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区西*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | led 扩晶蓝膜 存放 装置 | ||
1.LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:包括用于存储扩晶蓝膜的密封箱和用于支撑扩晶蓝膜的若干支撑盘,所述密封箱包括箱体和用于密封所述箱体的箱门,所述箱门枢接于所述箱体上,所述箱体中设有若干对分别用于支撑各所述支撑盘两侧的支撑槽,若干对所述支撑槽层叠设置,相邻两对所述支撑槽间隔设置,各对所述支撑槽分别设于所述箱体之相对两侧壁的内表面,各所述支撑槽的宽度大于所述支撑盘的厚度。
2.如权利要求1所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:所述箱体中设置有若干对用于支撑所述支撑盘两侧的支撑条,且若干对所述支撑条沿所述箱体的高度方向分布,各对所述支撑条分别设于所述箱体的相对两侧壁的内表面,上下相邻的两个所述支撑条之间形成一个所述支撑槽。
3.如权利要求2所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:各所述支撑条的外侧端部的顶面设有上导向面,所述上导向面由所述箱体内向外的方向倾斜向下延伸。
4.如权利要求2所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:各所述支撑条的外侧端部的底面设有下导向面,所述下导向面由所述箱体内向外的方向倾斜向上延伸。
5.如权利要求2所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:各所述支撑条与所述箱体的侧壁是一体成型。
6.如权利要求1所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:各所述支撑槽开设于所述箱体相应侧壁的内表面上。
7.如权利要求1-6任一项所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:还包括用于吸取所述箱体中灰尘的吸尘装置,所述箱体上开设有连通所述吸尘装置的开口。
8.如权利要求7所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:所述箱体上还开设有进气口,所述进气口中安装有用于防止灰尘进入所述箱体的透气片。
9.如权利要求1-6任一项所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:所述箱门上开设有窗口,所述窗口中安装有覆盖该窗口的透明板。
10.如权利要求1-6任一项所述的LED扩晶蓝膜存放装置,其特征在于:所述箱体的底面开设有凹槽,所述箱体的顶面凸设有对应插入另一所述箱体的所述凹槽中的导轨,所述导轨于所述箱体底面的投影位于所述凹槽对应的位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





