[实用新型]一种非球面光学元件的面形检测装置

权利要求书

1.一种非球面光学元件的面形检测装置，其中包括传感器、机床脉冲模块、接口电路、脉冲计数卡、数据采集模块、工控微机、报警模块；

采用查询方式进行数据采集；

采用在线测量的方式进行测量；

传感器测得的信号经接口电路输送到数据采集卡的采集端口上，等待采集；

机床脉冲信号经接口电路输送到脉冲计数卡，待计数条件满足，脉冲计数卡便送出一个触发信号；

脉冲出发经工控微机送入采集卡的采集端口上，通知数据采集卡进行数据采集；

传感器为非接触式激光位移传感器PSD；

脉冲计数卡的计数方式基于8254芯片，机床脉冲信号送入计数卡作为其CLK信号，计数卡的输出信号作为采集控制信号经工控微机送入采集卡的15通道，此信号还可用来确定工件或砂轮的x轴坐标，同时将x轴驱动脉冲输送到脉冲计数卡，避免发生漏采﹑误采﹑重复采。

2.根据权利要求1所述的非球面光学元件的面形检测装置，其特征在于，PSD激光位移检测精度为工件主轴精度0.1μm，砂轮轴精度0.1μm，X轴﹑Y轴移动导轨直线度均为0.3μm/300mm，砂轮回转轴精度0.1μm，数控系统分辨率为5nm。

3.根据权利要求1所述的非球面光学元件的面形检测装置，其特征在于，数据采集模块采用16位多用途数据采集卡PCL816。

4.根据权利要求1所述的非球面光学元件的面形检测装置，其特征在于，系统采用其中的两个通道，通道0和通道15，所需要的测量信号经通道0送入采集卡，采集控制信号经通道15送入采集卡。

5.根据权利要求1所述的非球面光学元件的面形检测装置，其特征在于，机床脉冲信号实现插补及驱动检测臂。

6.根据权利要求1所述的非球面光学元件的面形检测装置，其特征在于，报警模块包括系统报警和用户报警；系统报警和操作信息由NC自动完成；所述用户报警对机床的操作和状态进行监控。